Физические основы микроэлектроники, конспект лекций, страница 46

1.   Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т.  Основы микроэлектро­ники. - М.: Радио и связь, 1991. - 288с.

2.   Батавин В.В., Концевой Ю.А., Федорович Ю.В. Измерение пара­метров полупроводниковых материалов и структур. - М.: Радио и связь, 1985. - 264с.

3.   Броудай И., Меррей дж. Физические основы микротехнологии:

Пер. с англ./ Под ред. А.В.Шальнова. - М.: Мир, 1985.- 492с.

4.   Бузанева Е.В. Микро-структуры интегральной электроники. -

М.:  Радио и связь, 1990. - 304с.

5.   Епифанов Г.И., Мома Ю.А. Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА. - М.: Сов.радио, 1979. - 350c.

6.   Наумов Ю.Е. Физические основы элементов полупроводниковых микросхем. М.: МАИ, 1984. - 77с.

7.   Орешкин П.Т. Физика полупроводников и диэлектриков. - М.:

Высшая школа, 1977. - 448с.

8.   Павлов Л.Т. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987. - 240с.

9.   Пасынков В.В., Чиркин Л.К. Полупроводниковые приборы. - М.:

Высшая школа, 1987. - 480c.

10. Рембеза С.И. Методы измерения основных параметров полупро­водников. - Воронеж: Воронежский университет, 1989. - 220c.

11. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. - М.: Сов.радио, 1980. - 423с.

12. Фистуль В.И. Введение в физику полупроводников. - М.: Высшая школа, 1984. - 352с.

I3. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987. - 464с.

14. Чистов Ю.С., Сыноров В.Ф. Физика МДП - структур. - Воронеж:

Воронежский университет, 1989. - 224с.

15. Шалимова К.В. Физика полупроводников. - М.: Энергоатомиздат,

1985. - 390c.

СОДЕРЖАНИЕ

            Введение                                                                                               3

1.         Классификация кристаллов по типам связи и структуре                           3

2.         Основные понятия зонной теории и статистика носителей
            заряда в полупроводниках                                                                  4
2.1.      Обобществление электронов в кристалле                                           6
2.2.Заполнение зон электронами и деление тел на металлы
            диэлектрики и полупроводники                                                          7
2.3.      Собственные и примесные полупроводники                                      8
2.4.      Статистика носителей заряда, уровень Ферми                                 11
2.4.1.   Концентрация электронов и дырок в полупроводнике                   14

2.4.2.   Положение уровня Ферми и концентрация носителей заряда

            в собственном полупроводнике                                                          15

2.4.3.   Статистика электронов в примесных полупроводниках                  15

2.4.4.   Статистика носителей заряда в вырожденных

            полупроводниках и металлах                                                           22
2.5.      Задачи к разделу 2                                                                24
3.         Кинетические явления и механизмы проводимости
            в полупроводниках и металлах                                                        25
3.1.      Подвижность носителей заряда                                                        25
3.2.      Электропроводностъ металлов                          
3.3.      Электропроводность полупроводников                                           30
3.4.      Эффект сильного поля                                                                       37
3.5.      Неравновесные носители заряда в полупроводниках                     39
3.6.      Задачи к разделу З                                                                            44
4.         Контактные и поверхностные явления в полупроводниковых
            структурах                                                                                         45
4.1.      Контакт полупроводник — полупроводник                                    45
4.2.      Контакт металла с полупроводником                                              54
4.3.      Физические принципы работы биполярного транзистора                   58
4.4.      Термоэлектронная эмиссия и эффект Шоттки                                  64
4.5.      Поверхностные явления в полупроводниках                                   67
4.6.      Эффект поля, физические принципы работы МДП -транзистора      72