Разработка ионно-плазменной технологической установки для нанесения функционального покрытия на крышки масляных фильтров

РЕФЕРАТ

134 сторінок, 19 малюнка, 10 таблиць.

Метою роботи є розробка іонно-плазмової технологічной установки для нанесення функціонального покриття на кришки масляних фільтрів.

В роботі розроблено технологічний процесс підготовки поверхні та нанесення функціонального покриття на кришки масляних фільтів, розроблено магнетронну розпилюючу систему та прискорювач іонів для підготовки поверхні до осадження покриття, вакуумну систему іонно-плазмової технологічної установки, систему електропостачання та систему подачі робочої речовини до розпилюючої та прискорюючої систем.

В економічній частині проводиться економічний розрахунок собівартості нанесення покриття на одиницю продукції.

В розділі “Безпека життєдіяльності” пропонуються заходи забезпечення безпеки робіт на обладнанні, що входить до складу іонно-плазмової технологічної установки, проаналізовані вірогідні надзвичайні ситації, виконан разрахунок зон суцільних та окремих пожеж.

МАГНЕТРОННА РОЗПИЛЮЮЧА СИСТЕМА, ПЛАЗМА, ІОН, ЭЛЕКТРОН, АНОД, КАТОД-МІШЕНЬ, ЩІЛЬНІСТЬ СТРУМУ, РОЗРЯДНА НАПРУГА, МАГНІТНА ІНДУКЦІЯ, ТИСК РОБОЧОГО ГАЗУ, КОЕФІЦІЄНТ РОЗПИЛЮВАННЯ, ШВИДКІСТЬ ОСАДЖЕННЯ, ТОНКА ПЛІВКА.

РЕФЕРАТ

134 страниц, 10 рисунков, 11 таблиц.

Целью работы является разработка ионно-плазменной технологической установки для нанесения функционального покрытия на крышки масляных фильтров.

В работе разработан технологический процесс подготовки поверхности и нанесения функционального покрытия на крышки масляных фильтров, разработана магнетронная распылительная система и ускоритель ионов для подготовки поверхности к осаждению покрытия, вакуумная система ионно-плазменной технологической установки, система электропитания и система подачи рабочего вещества в распылительную и ускорительную систему.

В экономической части проводится экономический рассчет себестоимости нанесения покрытия на единицу продукции.

В разделе «Безопасность жизнедеятельности» предложены меры обеспечения безопасности при работе на оборудовании, входящем в состав ионно-плазменной технологической установки, проанализированы возможные чрезвычайные ситуации, выполнен рассчет зон сплошных и отдельных пожаров.

МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА, ПЛАЗМА, ИОН, ЭЛЕКТРОН, АНОД, КАТОД-МИШЕНЬ, ПЛОТНОСТЬ ТОКА, РАЗРЯДНОЕ НАПРЯЖЕНИЕ, МАГНИТНАЯ ИНДУКЦИЯ, ДАВЛЕНИЕ РАБОЧЕГО ГАЗА, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ТОНКОПЛЕНОЧНОЕ ПОКРЫТИЕ.

THE ABSTRACT

134 pages, 19 figures, 11 tables.

The purpose of work is development of ionic-plasma technological installation for deposition of functional covering on oil filters covers.

Technological process of surface preparation and deposition of functional covering on oil filters  covers developed, the magnetron atomizing system and the accelerator of ions is developed for surface preparation for covering deposition, vacuum system of ionic-plasma technological installation, power supply system and repository and feed system of working medium in atomizing and accelerating system

In an economic part it is spent economic calculation of cost prices of covering deposition on the product unit.

In section «Safety of habitability» safety measures are offered at work on the equipment which belongs to of ionic-plasma technological installation, possible extreme situations are analyzed, the zones of continuous and separate fires are calculated.

MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, PLASMA, ION, ELECTRON, ANOD, TARGET, CURRENT DENSITY, VOLTAGE, MAGNETIC INDUCTION, PRESSURE OF THE WORKING GASES, RATE OF SPUTTERING, RATE OF DEPOSITION, THIN FILM COATING.

Contents

The list of symbols, reductions, terms. 2

1 Expediency of functional covering  plating on oil filters covers. 6

2 Technological process of covering plating engineering. 10

2.1 Physical calculations on engineering process realization. 10

2.2 Определение режимов технологического процесса. 12

2.3 Разработка маршрутной схемы технологического процесса. 14

2.4 Определение тре6ований к средствам контроля режимов технологического процесса. 18

2.5 Определение требований к средствам контроля качества покрытия. 34

2.6 Разработка концепции ИПТУ.. 40

3 Calculation of ionic-plasma technological sources for surface preparation and deposition of the covering. 47

3.1 Choice and calculation of MAS critical parameters. 47

3.2 Описание конструкции МРС.. 57

3.3 Описание магнитной системы МРС.. 60

3.4 Расчет прочностных характеристик анода-коллектора. 62

3.5 Обзор методов испытаний тонкопленочных покрытий. 66

3.6 Описание конструкции источника ионов для подготовки поверхности. 73

3.7 Расчет основных параметров источника ионов для подготовки поверхности. 75

3.8 Расчет магнитной системы источника ионов для подготовки поверхности. 76

3.9 Разработка структурной схемы электропитания и системы подачи рабочего тела источников ИПТУ.. 81

4 Technological installation development 85

4.1 Calculation of vacuum system.. 85