Рассеяние Мандельштама-Бриллюэна. Дифракция в кристаллах. Поляризационные эффекты. Элементы статистической термодинамики. Излучение фотонов и эмиссия электронов, страница 28

.                                   (17.28)

Для увеличения полезного сигнала фотодиода повышают сопротивление R и включают источник внешней ЭДС. Фотодиоды используются как селективные приемники инфракрасного излучения.

§ 17.3. Транзистор, управляемый электрическим полем

Рассматриваемый прибор называется транзистором со статической индукцией (СИТ). СИ-транзистор является новым силовым быстродействующим высокочастотным и высоковольтным прибором, механизм управления которым основан на действии электрического поля. 1. Вариант схемы изготовления СИТа с вертикальными каналами и прямоугольными затворами (рис.17.6)

Омические контакты, через которые входят электроны, называются истоками; омический контакт, через который уходят электроны, называется стоком; обратно смещенный переход – затвором; n+ и р+ – сильнолегированные области, n – слаболегированная область кремния.

При подаче на затвор отрицательного смещения область пространственного заряда расширяется, оставляя для прохождения электронов от истока к стоку более узкий канал. При изменении напряжения сигнала на затворе происходит модуляция тока стока.

В области истока действует слабое электрическое поле и движение электронов через границу n+n- - перехода определяется главным образом диффузией. Перейдя границу n+n- - перехода, электроны попадают в n- - область, где действует сильное электрическое поле, величина которого тем больше, чем больше сопротивление канала. Поскольку основную часть пути электроны проходят за счет дрейфа, время пролета от истока к стоку мало и СМТ может работать на высоких частотах. При дальнейшем увеличении отрицательного смещения происходит смыкание двух областей пространственного заряда в некоторой точке канала, устанавливается потенциальный барьер и ток через прибор прекращается.

Процесс включения СМТа состоит из следующих стадий: перезарядки барьерной емкости управляющего р-n-перехода, исчезновения потенциального барьера в канале и пролета электронов от истока к стоку.

Таким образом, электрическое поле управляет пространственным зарядом, который, в свою очередь, управляет током стока..

¬ Удаление нитрида кремния. Электрохимическое осаждение золота и никеля на истоки, затворы и стоковую поверхность.

 

¬ Дополнительное травление канавок. Диффузия боа в дно и стенки канавок

 

¬ Травление канавок.

Окисление канавок. Травление SiO2 на горизонтальных поверхностях.

 

¬ Осаждение нитрида кремния.

Окисления.

 

¬ Диффузия мышьяка в исходную кремниевую n- - n+ структуру

 

Рис.17.6

Конструкция СИТа является многоканальной. Расстояние  между каналами составляет 2…5 мкм.

2. Принцип действия прибора, включенного в электрическую цепь (рис.17.7)

Рис.17.7

При подаче отрицательного сигнала на затвор p-n - переход закрыт и перенос тока между истоком и стоком осуществляется основными носителями, в рассматриваемом случае - электронами. Такой механизм переноса тока называется униполярным (монополярным).

При прямом смещении управляющего p-n - перехода неосновные носители (дырки) поступают в канал. Составляющая дрейфового тока в полном токе начинает увеличиваться при увеличении напряжения смещения. Это приводит к появлению в n - области обоих типов носителей и биполярному механизму токопереноса, поэтому прибору, работающему при прямом смещении затвора, было присвоено название Б-СИТ (биполярный транзистор со статической индукцией).

3. Выходные характеристики СМ-транзисторов

Определим вид выходной вольт-амперной характеристики при малом сопротивлении канал - исток и обратном смещении затвора. Применим теорему Гаусса к пространственному заряду:

,                                          (17.29)

где e - диэлектрическая проницаемость полупроводника.