Физика \ Конструкция и проектирование агрегатов РРД

The temperature of a substrate, while the covering is drawing on it’s surface, страница 11

Table 5.2 The dispersion coefficient of various elements by ions of inert gases in a range of energies 100 … 600 eV

Working gas	He				Ne				Ar				Kr				Xe
Energy of ions Material	100	200	300	600	100	200	300	600	100	200	300	600	100	200	300	600	100	200	300	600
Al	—	0,005	0,008	0,021	0,031	0,24	0,43	0,83	0,11	0,35	0,65	1,24	0,09	0,3	0,52	1,11	0,06	0,24	0,45	1,02
Ti	0,01	0,038	0,05	0,08	0,08	0,22	0,3	0,45	0,081	0,22	0,33	0,38	0,03	0,16	0,29	0,53	—	0,13	0,24	0,5
Cr	0,03	0,07	0,105	0,2	0,18	0,49	0,73	1,05	0,3	0,67	0,87	1,3	0,21	0,56	0,88	1,55	0,13	0,44	0,85	1,9
Fe	0,03	0,063	0,09	0,17	0,18	0,38	0,62	0,97	0,2	0,53	0,76	1,26	0,12	0,38	0,64	1,23	0,06	0,29	0,54	1,2
Co	0,01	0,042	0,075	0,15	0,084	0,41	0,64	0,99	0,15	0,57	0,81	1,36	0,08	0,3	0,5	1,33	0,09	0,38	0,61	1,3
Ni	0,028	0,06	0,093	0,18	0,22	0,46	0,65	1,34	0,28	0,66	0,95	1,52	0,16	0,47	0,75	1,5	0,1	0,37	0,71	1,48
Cu	0,045	0,11	0,16	0,27	0,26	0,84	1,2	2	0,48	1,1	1,59	2,3	0,33	0,92	1,42	2,8	0,26	0,79	1,29	2,44
Mo	0,001	0,005	0,015	0,04	0,1	0,24	0,34	0,54	0,13	0,4	0,58	0,93	0,07	0,32	0,54	1,05	0,06	0,28	0,51	1,06
W	—	0,001	0,004	0,008	0,038	0,13	0,18	0,32	0,068	0,29	0,4	0,62	0,06	0,36	0,58	1,07	0,03	0,35	0,6	1,18
Ge	0,010	0,03	0,05	0,08	0,12	0,32	0,48	0,82	0,22	0,50	0,74	1,22	0,12	0,37	0,66	1,35	0,08	0,31	0,54	1,20
Zr	—	(0,004)	(0,013)	(0,025)	0,054	0,17	0,27	0,42	0,12	0,28	0,41	0,75	0,04	0,18	0,34	0,72	0,03	0,18	0,31	0,71
Nb	—	0,005	0,010	0,030	0,051	0,16	0,23	0,42	0,068	0,25	0,40	0,65	0,03	0,17	0,30	0,68	0,02	0,17	0,31	0,61
Si	0,015	0,045	0,075	0,15	0,034	0,13	0,25	0.54	0.07	0,18	0,31	0,53	0,05	0,12	0,23	0,64	—	0,08	0,21	0,51
V	(0,003)	(0,020)	(0,038)	0,09	0,06	0,17	0,36	0,55	0,11	0,31	0,41	0,70	0,06	0,21	0,35	0,69	0,05	0,20	0,39	0,72
Ag	0,03	0,082	0,125	0,23	0,27	1,00	1 ,30	1 ,98	0,63	1,58	2,20	3,40	0,40	1,35	1,85	3,90	0,40	1,05	1,80	4,20
Ta	—	0,002	0,003	0,012	0.05	0,13	0,18	0,30	0,10	0,28	0,41	0,62	0,07	0,33	0,53	0,98	0,05	0,32	0,50	1,00

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45

Скачать файл

Уважаемый посетитель!

Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).

Ссылка на скачивание - внизу страницы.