«Исследование физических свойств твердых тел», методические указания к лабораторным работам, страница 41

1. Чем обусловлено сопротивление тонких металлических пленок?

2. Какое влияние на проводимость пленок оказывают структурные дефекты?

3. Что такое диффузное и зеркальное рассеяние электронов на поверхностях пленки?

4. Как измеряется толщина плёночных образцов?

5. Как определяется величина удельного поверхностного сопротивления?

6. Каким образом вычисляются параметры размерного эффекта: значения , р, ?

7. Укажите области применения тонких металлических плёнок.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Иевлев В.М. Рост и субструктура кондсированных плёнок: учеб.пособие / В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов. – Воронеж: ВГТУ, 2000. – 386с.

2. Балашов Ю.С. Технологические операции в производстве РЭС: учеб. Пособие / Ю.С. Балашов, А.С. Бадаев, В.П. Иевлев. – Воронеж: ВГТУ, 2006. – 147с.

3. Ефимов И.Е. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надёжность: учеб. Пособие / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Высш.шк., 1986. – 464с.

СОДЕРЖАНИЕ

Лабораторная работа №1. Исследование теплового расширения твердых тел и термических напряжений в спаях металл-стекло                                                 1

Лабораторная работа №2. Исследование распространения ультразвуковых волн в твёрдых телах 21

Лабораторная работа №3. Исследование размерного эффекта в тонких плёнках        38