(4)
Третий механизм (Крастанова-Странского) предполагает двумерное зарождение плёнки с образованием трёхмерных островков при последующем росте, условие реализации этого механизма будет
(5)
Из неравенств (2), (4) и (5) видно, что механизм роста определяется величиной Е1,2 , которая по определению может быть записана в виде:
, (6)
где E1-2 – энергия межфазной связи, Еf – энергия, характеризующая ослабление межфазной связи вследствие несоответствия параметров кристаллических решеток пленки подложки.
Все системы подложка-плёнка можно классифицировать по характеру связи: системы со слабой связью (первый механизм) и с сильной связью, в которых реализуются второй и третий механизмы.
Механизмы роста в значительной мере предопределяют преимущественные типы дефектов, образующихся в сплошных плёнках и многослойных плёночных системах, природу и механизм образования дефектов.
Для первого механизма – это, в первую очередь, границы зерен (мало- и высокоугловые границы, границы двойников и т.д.), дислокации, дефекты упаковки; для второго – межфазные границы раздела подложка-плёнка, содержание дислокации несоответствия.
2.2. Задание № 2
Изучить размерные эффекты и основные электрофизические свойства тонких металлических плёнок.
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ВЫПОЛНЕНИЮ ПЕРВОГО ЗАДАНИЯ
Для выполнения задания необходимо изучить материал /3, с.95-101, 120-129/.
Следует обратить внимание на то, что электрофизические свойства тонких металлических плёнок, в значительной степени зависят от их толщины независимо от способа получения. Удельная проводимость таких плёнок уменьшается с уменьшением их толщины (рис.4.)
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.