«Исследование физических свойств твердых тел», методические указания к лабораторным работам, страница 39

Измерение удельного поверхностного сопротивления пленок осуществляется следующим образом:

а)    измеряется длина (L) и ширина (b) пленочных элементов;

б)    из отношения L/b определяется число квадратов со стороной Ь;

в)    с помощью двухзондового устройства измеряется сопротивление каждого элемента;

г)    вычисляя отношение измеренного сопротивления к числу квадратов, определяется величина удельного поверхностного сопротивления , Ом/ࡪ;

д)    умножив величину  на толщину пленки h, получают удельное сопротивление пленки ρ:

4.3. Задание №3

Обработать результаты эксперимента и определить параметры размерного эффекта.

Результаты измерений заносятся в таблицу.

обр

азца

толщ

ина h,

нм

длинна,

мм

ширина, мм

число квадратов

сопротивление, Ом

ρ,

Ом·мм

l,

мкм

р, nЗ/nД

1

2

3

По данным таблицы строятся графические зависимости:

1)

2)