Измерение удельного поверхностного сопротивления пленок осуществляется следующим образом:
а) измеряется длина (L) и ширина (b) пленочных элементов;
б) из отношения L/b определяется число квадратов со стороной Ь;
в) с помощью двухзондового устройства измеряется сопротивление каждого элемента;
г) вычисляя
отношение измеренного сопротивления к числу квадратов, определяется величина
удельного поверхностного сопротивления
, Ом/ࡪ;
д) умножив
величину
на
толщину пленки h, получают удельное сопротивление
пленки ρ:
![]()
4.3. Задание №3
Обработать результаты эксперимента и определить параметры размерного эффекта.
Результаты измерений заносятся в таблицу.
|
№ обр азца |
толщ ина h, нм |
длинна, мм |
ширина, мм |
число квадратов |
сопротивление, Ом |
ρ, Ом·мм |
l, мкм |
р, nЗ/nД |
|
1 2 3 |
По данным таблицы строятся графические зависимости:
1) ![]()
2) ![]()
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.