БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Чернышов А.В. Материаловедение в РЭС: учеб. пособие / А.В. Чернышов. – Воронеж: ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2009. – 150 с.
2. Павлов П.В. Физика твёрдого тела: учеб./ П.В. Павлов, А.Ф. Хохлов. – 3-е изд., стер. – М.: Высш.шк., 2000. – 494 с.
3. Чернышов А.В. Радиоматериалы. Ч.1: Органические и неорганические диэлектрические материалы: учеб. пособие / А.В. Чернышов. Воронеж: ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2007. – 187 с.
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №3
ИССЛЕДОВАНИЕ РАЗМЕРНОГО ЭФФЕКТА В ТОНКИХ ПЛЁНКАХ
1 ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ
1.1. Цель работы
Изучение процессов конденсации, образования зародышей и роста тонких плёнок, исследование электрических свойств металлических тонких плёнок.
1.2. Содержание работы
В работе изучаются механизмы роста, структура и свойства тонких плёнок. Измеряются толщина приготовленных плёнок различных металлов (Cu, Ni, Al и др.), сопротивление каждого образца и рассчитываются удельное и удельное поверхностное сопротивление, а также параметры размерного эффекта.
Обучение осуществляется в процессе выполнения домашних и лабораторных заданий. Контроль усвоения полученных студентами знаний и навыков производится при собеседовании путем оценки ответов на контрольные вопросы, а также при выполнении лабораторной работы.
Время выполнения домашних заданий 3 ч. Общее время на выполнение лабораторных заданий, включая собеседование и отчет по лабораторной работе 4 ч.
1.3. Указания по технике безопасности
В процессе работы необходимо соблюдать общие правила техники безопасности при работе с электроустановками напряжением до 1000 В.
Шпиндель подвижной системы должен быть заарретирован при отсутствии в блоке испытуемого образца от арретира при установленном образце.
2. ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ
УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ
2.1. Задание № 1
Изучить механизмы роста и особенности структуры тонких металлических плёнок.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.