«Исследование физических свойств твердых тел», методические указания к лабораторным работам, страница 37

Величина ρ_Д сильно зависит от параметров процесса нанесения пленки и в некоторых случаях может превышать ρ_р и ρ_П. Учет этих механизмов рассеяния значительно усложняет выражения (8) и (9) и они принимают вид

                                                                    (11)

                                                        (12)

Для островковых конденсированных пленок металлов на диэлектриках (ОКДМ) характерны следующие особенности электропроводности:

а)  удельное сопротивление всегда во много раз больше удельного сопротивления массивного материала ();

б)  отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС);

в)  экспоненциальная зависимость проводимости от величины, обратной температуре , указывает на термически активируемую проводимость ОКМД (где Е_а энергия активации);

г)  зависимость энергии активации проводимости от эффективной толщины (размеров островков: с ее уменьшением энергия активации увеличивается);

д)  омический характер проводимости имеет место в области слабых полей; в области сильных - нелинейный характер (линейная зависимость от напряжённости поля).

Механизмы, качественно объясняющие основные закономерности электропроводности островковых пленок: термоэмиссия, активированное туннелирование, туннелирование через подложку или ловушки, а также механизм прыжковой проводимости по примесям в полупроводниках.

3. ВОПРОСЫ К ДОМАШНЕМУ ЗАДАНИЮ

1. Что представляет собой тонкая пленка?

2. Что такое размерный эффект?

3. Какие методы используются для получения тонких плёнок? Какие этапы различают в технологии их нанесения вакуумными методами?

4. От каких факторов зависят структура и свойства тонких плёнок?

5. Какую структуру могут иметь напылённые плёнки?

6. Какие механизмы роста тонких плёнок Вы знаете? В чём заключается их сущность?

7. Чем объясняется более высокое удельное сопротивление пленок по сравнению с массивными образцами?