«Исследование физических свойств твердых тел», методические указания к лабораторным работам, страница 38

8. Какие существуют механизмы рассеяния электронов на поверхности тонких плёнок?

9. Какие особенности электропроводности островковых конденсированных пленок металлов?

10. Какие механизмы объясняют основные закономерности электропроводности островковых пленок?

4. ЛАБОРАТОРНЫЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ

4.1. Задание №1

Ознакомиться с устройством и принципом работы интерферометра МИИ-4.

На интерферометре МИИ-4 измеряется толщина пленочных образцов. Для этого образец кладется исследуемой поверхностью вниз на столик прибора. Включается освещение и с помощью микрометрического микроинтерферометр фокусируется на исследуемую поверхность, перемещая столик до момента появления в поле зрения края пленочного элемента. Включается интерференционная головка поворотом рукоятки (стрелка должна быть в горизонтальном положении). При этом в поле зрения возникают цветные интерференционные полосы. Полосы изгибаются на крае образца (на переходе пленка-подложка). Предметный столик разворачивают таким образом, чтобы направление полос было перпендикулярно краю пленочного элемента. После этого окулярный микрометр поворачивается так, чтобы одна из нитей совпадала с направлением интерференционных полос, а другая – с направлением границы пленочного элемента.

Передвигая окулярный микрометр в направлении, указанном стрелками, производят отсчет количества делений барабана микрометра N₂-N₁ и N₁-N₃. Толщина пленочного элемента определяется из следующего соотношения

4.2. Задание №2

Измерить сопротивление данного набора тонкопленочных образцов.

Толщина пленок меняется от образца к образцу в пределах

5÷1000 нм. Напыленные пленки, как правило, содержат большое количество структурных дефектов и являются напряженными. Для снижения влияния структурных несовершенств можно провести отжиг при температуре ~ 600К в течении 1,5 часов в вакууме.

В силу известной неопределенности в измерении малых толщин в технологии тонких пленок используется понятие поверхностного сопротивления , которым называют сопротивление квадратного участка пленки (с одинаковыми длиной и шириной). Для квадратного участка любой площади сопротивление  одно и тоже.