Конденсаторные стекла применяются в качестве диэлектриков тонкопленочных конденсаторов. Такие стекла помимо высокой диэлектрической проницаемости и малого значения tgδ должны иметь высокие удельное сопротивление и электрическую прочность, и отсутствие пор. Для пленочных конденсаторов применяют в основном двухкомпонетные боро-силикатные с удельной емкость (Суд = 150 пФ/мм2) алюмо-силикатные (Суд = 300 пФ/мм2) и иттрий-боросиликатные (Суд = 500 пФ/мм2) стекла.
Стекла для герметизации полупроводниковых приборов и ИС. Эти стекла используются в виде тонких пленок, наносимых на поверхность кремниевых кристаллов для защиты от внешних воздействий. Пленки должны хорошо покрывать ступеньки топологического рельефа и поэтому иметь ТКЛР, близкий к ТКЛР кремния; должны быть сплошными, без разрывов и пор.
Проводящие стекла представляют собой стеклообразные вещества, которые
вследствие нестехиометрического состава обладают повышенной
электропроводностью, при этом носителями в них служат электроны. К таким
стеклам (халькогенидные) относятся, например, соединения химического состава As2, S3, Sb2S3, GeSe и другие. Халькогенидные стекла имеют низкую температуру
размягчения (230...430 °С) и удельное сопротивление
ρ = 105 -10-3 Ом·м. Низкая температура обработки
обусловила использование высокоомных стекол для герметизации интегральных схем,
но основное применение они находят из-за их полупроводниковых свойств (как
полупроводниковые материалы).
Ситаллы являются многофазными материалами, состоящими из зерен одной или нескольких кристаллических фаз, скрепленных между собой стекловидной прослойкой. В настоящее время синтезированы ситаллы на основе стекол различного химического состава: литий-, кальций-, магний-, стронций натрий-алюомосиликатных, калиево-титаносиликатных и др.
По структуре ситаллы занимают промежуточное положение между обычными стеклами и керамикой. От стекол они отличаются тем, что имеют в основном кристаллическое строение, и от керамики – значительно меньшим размером кристаллических зерен и отсутствием пористости. Ситаллы по сравнению со стеклами обладают более высокой механической прочностью, нагревостойкостью, теплопроводностью. Температурный коэффициент линейного расширения (ТКР) лежит в пределах (7-30)·10-7 С-1.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.