Частную производную от выражения истинного значения толщины покрытия по току распыления можно определить по формуле:
|
|
В результате вычисления по формуле (4.27), получаем:
.
Частную производную от выражения истинного значения толщины покрытия по радиусу наружной поверхности катода можно определить по формуле:
|
|
В результате вычисления по формуле (4.28), получаем:
.
Частную производную от выражения истинного значения толщины покрытия по длине катода можно определить по формуле:
|
|
В результате вычисления по формуле (4.29), получаем:
.
Сделав соответствующую подстановку в формулу (4.23), получаем значение дисперсии истинного значения толщины покрытия равное 2,106×10-15.
В результате вычисления по формуле (4.20), получаем:
.
Таким образом, можно с вероятностью Рd = 0,98 утверждать, что в течение необходимого времени обработки будет получена необходимая толщина покрытия.
Состояние поверхности перед нанесением покрытий определяет качество напыляемого слоя и многие функциональные характеристики покрытий, в частности адгезию. В общем случае состав и строение поверхности пленки зависит от предыстории поверхности на которую она была осаждена, то есть от условий получения, хранения и транспортирования той или иной детали. Для облегчения доступа атома осаждаемого материала к поверхности необходимо удалить имеющуюся на ней пленку загрязнений и адсорбированные газы, т.е. очистить поверхность. Вид очистки зависит от количества и состава поверхностных загрязнений. В соответствии с последовательностью и характером проведения очистки различают: грубую и тонкую механическую очистку; грубую и тонкую химическую очистку; термообработку на воздухе и в вакууме; тонкую очистку и активацию поверхности в вакууме с помощью различных физических воздействий.
Деталь проходит визуальный осмотр на наличие трещин, сколов, выбоин перед предварительной очисткой. Если такие имеются, деталь отбраковывается сразу.
Предварительная очистка поверхности подложки (химическая очистка) включает в себя несколько операций, а именно:
1. Обезжиривание
2. Сушка
3. Обезжиривание
4. Промывка
Химическая очистка поверхности – подготовка поверхности перед нанесением покрытий. Для облегчения доступа атома распыляемого металла к поверхности необходимо удалить имеющуюся на ней пленку загрязнений и адсорбированные пленки. Эта операция, как правило, состоит в удалении с поверхности видимых слоев органических загрязнений: остатков масел, красителей, отпечатков пальцев и жировых пятен. При этом используют органические растворители - тетрахлорид углерода, бензин, ацетон, этиловый спирт и др [18].
Характеристикой эффективности растворителя является способность образовывать растворы с другими веществами. Растворимость характеризуется максимальной концентрацией какого-либо вещества, способного раствориться в данном растворителе при определенных температуре и давлении, т.е. концентрацией насыщенного раствора данного вещества в данном растворителе. Итак, жировые загрязнения снимают с поверхности тканью или тампоном, смоченным в растворителе. Также применяют очистку в ультразвуковых ваннах с применением органических растворителей. Обработанные детали раскладывают на чистой ткани, предусмотрев защиту от попадания частиц пыли и капель моющих средств.
Обезжиривания в органических растворителях часто недостаточно для обеспечения качественной подготовки поверхности подложек перед напылением. В этих случаях применяют тонкую химическую очистку в растворах неорганических кислот и щелочах, а также в парах органических растворителей. При этом очистки ведут, как правило, при повышенной температуре раствора.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.
. (4.27)
. (4.28)
. (4.29)