Обозначение |
Наименование |
Единица измерения |
V |
Потенциал |
В |
Е |
Напряженность электрического поля |
В/м |
В |
Магнитная индукция |
Тл |
Фо |
Магнитный поток |
Вб |
е |
Электрический заряд |
К |
Z |
Зарядовое число |
— |
υ или υb |
Скорость ионного пучка |
м/с |
с |
Скорость света |
м/с |
mе |
Масса электрона |
кг |
m или mb |
Масса ионов пучка |
кг |
mi |
Масса медленных ионов плазмы |
кг |
r0 |
Радиус огибающей пучка |
м |
а |
Минимальный радиус пучка |
м |
z |
Расстояние вдоль оси |
м |
ƒ |
Фокусное расстояние |
м |
ρL |
Ларморовский радиус |
м |
nb |
Плотность числа ионов в пучке |
м-3 |
ne |
Плотность числа электронов |
м-3 |
ni |
Плотность числа медленных ионов |
м-3 |
β |
υb/C |
— |
γ |
(1- β2)-1/2 |
— |
εо |
Диэлектрическая проницаемость вакуума |
Ф/м |
μ0 |
Магнитная проницаемость вакуума |
Гн/м |
K |
Обобщенный первеанс пучка |
— |
Л |
Доля нейтрализуемого объемного заряда пучка |
— |
Следовательно, форма траектории ионов может быть выведена из уравнений движения, которые представлены здесь в релятивистском виде. Наиболее общая форма уравнения движения в ионной оптике известна как уравнение параксиального луча. Пучок имеет определенную ось, относительно которой определяется движение ионов, и приложенные силы представляются в виде разложения первого порядка относительно магнитной индукции на оси пучка. Основным предположением при выводе уравнения является малость угла между траекторией иона и осью пучка, что является хорошим приближением практически для любого реального пучка, даже если его ось искривлена (например, при ускорении энергичной частицы).
Поскольку большинство пучков в большой степени обладает цилиндрической симметрией, мы будем основывать все последующие выводы на этом предположении и получим уравнение параксиального луча в цилиндрических координатах. Вид уравнения в двумерной декартовой системе координат аналогичен. В последующем анализе всегда используется система единиц СИ.
4.1.1. Теорема Буша и уравнение параксиального луча
Буш [1] вывел выражение, описывающее движение частицы в акcиальносимметричном магнитном поле и связывающее угловую скорость частицы с магнитным потоком, пронизывающим траекторию частицы. Ситуация показана на рис. 4.1.
Рис. 4.1. Траектория движения заряженной частицы в аксиально-симметричном магнитном поле (к формулировке теоремы Буша). 1-траектория частицы; 2-граница площади, относительно которой рассматривается магнитный поток.
Сила Лоренца, действующая на ион, может быть приравнена скорости изменения момента импульса в соответствии со вторым законом Ньютона. Следовательно,
(1)
, где Z — зарядовое число, γ = (1-υ2/с2)-1/2, m — масса покоя иона, точка над символом означает дифференцирование по времени. Составляющие индукции магнитного поля Вr и Bz относятся к случаю аксиальной симметрии. Движение в аксиальном и радиальном направлениях приводит к изменению магнитного потока Ф, пронизывающего траекторию частицы в поле. Это изменение Δ Ф выражается в виде
(2)
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.