Включить форвакуумный насос: переключатель "насосы" поставить в положение "Ф", должна загореться сигнальная лампочка. При достижении требуемого вакуума переключатель "пост" и "режимы" перевести в рабочее положение. Переключатель "Режим" в положение "Р" и должна загореться сигнальная лампочка "разряд", Ручной ЛАТРа установить требуемую величину разрядного тока. Разрядный ток не должен превышать 12 МА (цепа деления прибора I МА). После окончания напыления вывести на нуль ручку автотрансформатора. Провести в обратном порядке все переключения:
поставить тумблеры в нерабочее положение. Напустить воздух под колпак ручкой "воздух"
4.2. Микроинтерферометр МИП-4 является специальным прибором, предназначенным для визуальной оценки, измерения и фотографирования высоты неровностей тонкообработанных поверхностей. Прибор М-4 позволяет измерить высоты неровностей в пределах от I до 0,03 мкм. Действие прибора основано на использовании явления интерференции света. Прибор впервые разработан академиком В.П.Линником. Пользуясь инструкцией для работы с интерферометром, подготовить прибор к работе.
4.3. Измерение толщины пленок
4.3.1. Измерение толщины пленок можно произвести двумя способами: "на глаз" и с помощью винтового окулярного микрометра. При правильной настройке интерферометра в попе зрения окуляра должны быть видны одновременно граница пленки и интерферометра, Интерференционные полосы, изогнутые в местах, где проходят канавки или царапины, или уступ пленки на подложке. Причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно кромке пленки. Для определения толщины пленки следует "на глаз" определить, на какую долю интервала между полосами или насколько интервалов изгибается полоса в месте прохождения исследуемой пленки. Глубина царапины или риски определяется по следующей формуле:
при работе с белым светом d=0.27ΔNмкм при работе с монохроматическим светом
мкм
d- глубина канавки (толщина пленки) в мкм ;
ΔN величина изгиба полосы в долях интервала ;
λ- длина волны света, указанная в аттестате.
4.3.2. Излучение с помощью винтового окулярного микрометра.
Для измерения с помощью винтового окулярного микрометра МОВ №1 - 15 следует установить его на тубус микроинтерферометра до упора, затем повернуть так, чтобы одна из нитей перекрестия совпала с направлением интерференционных полос, а другая с направлением царапин на исследуемой поверхности. После Этого закрепить винтовой окулярный микрометр зажимным винтом. Последовательность определения толщины пленок такая:
а) измерение величины интервала между полосами б) Измерение величины изгиба полос в) вычисление толщины пленки
Измерение величины интервала между полосами
При работе с белым светом все измерения производятся по двум черным полосам, величина интервала между которыми выражается числом делении барабанчика окулярного микрометра. Для большей точности измерения наводку нити перекрестия лучше всего производить по середине, а не по краю полосы.
Первый отсчет N1 производится по шкалам винтового окулярного микрометра, при совмещении одной из нитей перекрестия подвижной сетки с серединой полосы; затем совмещают эту же нить перекрестия с серединой следующей полосы и получают N2,
Измерение величины изгиба полос
Величину изгиба полос также выражают в делениях барабана окулярного микрометра. Устанавливают микрометром нить на черной полосе подложки и снимают показания N3, затемнить перекрестия совмещают с серединой той же полосы на пленке и получают второй отсчет N4 Величина изгиба полосы в долях интервала между полосами выражается формулой
(в полосах)
Вычисление толщины пленки
При работе в белом свете искривления в одну интерференционную полосу соответствует толщина пленки на исследуемой поверхности, равной 0,27 мкм. В общем виде измеренная толщина пленки d вычисляется по формуле
мкм, где
d-толщина пленки ; N1 и N2 - первый и второй отсчет при измерении интервала; N3 и N4 - первый и второй отсчет при измерении величины изгиба полосы.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.