Классификация интегральных микросхем. Исследование ионно-плазменного распыления материалов. Исследование статических передаточных характеристик каскадов на МДП-транзисторов

СОДЕРЖАНИЕ

Правила выполнения работ и техника безопасности…................….…..4.

Лабораторная работа № 1. Классификация интегральных микросхем...........……………………………...……………………….….6.

Лабораторная работа № 2. Технология получения тонких пленок для микросхем вакуумным испарением…….......…………………….…………….….13.

Лабораторная работа №3. Технология фотолитографического процесса.........……………………………………………...……….…………………...17.

Лабораторная работа № 4. Исследование ионно-плазменного распыления материалов.............………..…….……………………….……………………....27.

Лабораторная работа № 5. Технология сварка и пайки микросхем.….36 .

Лабораторная работа № 6. Изучение характеристик интегральных логических схем…………………………………………………………………….…..48 .

Лабораторная работа № 7. Исследование статических передаточных характеристик каскадов на МДП – транзисторов……………………………….54 .

ПРАВИЛА

выполнения работ в лаборатории

1.ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ

В порядке подготовки к работе следует:

а) ознакомиться с описанием работы;

б) на основании описания работы и установки составить необходимую схему (если требуется);

в) выполнить предусмотренные описанием топологические рисунки, предварительные расчеты;

г) ознакомиться с применяемой в работе измерительной:

аппаратурой, по соответствующим инструкциям и литературе.

2. ВЫПОЛНЕНИЕ РАБОТ В ЛАБОРАТОРИИ

а) лабораторные работы выполняются в часы, предусмотренные расписанием, бригадами в составе не более трех человек б) выполнению каждой работы предшествует проверка готовности студента. Проверка производится преподавателем в начале каждого занятия. При удовлетворительных ответах на контрольные вопросы студент допускается к выполнению работы. Если ответу на вопросы признаны преподавателем неудовлетворительными, студент к работе не допускается;

в) студенты, допущенные к работе, выполняют ее в соответствии с описанием. Работа считается законченной после просмотра и утверждения полученных материалов преподавателем;

г) по окончании работы студент должен выключить все источники питания и приборы, отключить установку от сети и привести рабочее место в порядок.

3.ОФОРМЛЕНИЕ ОТЧЕТА И ЗАЧЕТ ПО РАБОТЕ

а) отчет по работе составляется на стандартных листах писчей бумаги размером 20х30 см с оставлением полей шириной 2 см для подшивки и шириной 4 см для пометок;

б) первый (заглавный) лист отчета оформляется по установленному образцу в) расчету отдельных величин должно предшествовать краткое пояснение г) графики, топология вычерчивается непосредственно на листах отчета, либо на листах миллиметровки, которые обязательно должны быть включены в отчет;

д.) студент получает зачет по работе после представления оформленного отчета. Оценка учитывает результаты беседы о преподавателем при проверке подготовки студента, работу студента в лаборатории, качество представленного отчета, ответы на вопросы, которые могут быть заданы при просмотре оформленного отчета;

е.) студент, не сдавший отчет по предыдущей работ к последующей работе не допускается;

ж) на основании зачетов по всем выполненным работам преподаватель ставит зачет по всей лаборатории в целом.

ПРАВИЛА ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ

1.1. Несчастные случаи во время проведения лабораторных работ происходят чаще всего из-за несоблюдения правил техники безопасности. Поэтому студенты допускаются к лабораторным работам только после инструктажа по этим правилам, о чем должны свидетельствовать их личные подписи в специальном журнале

Неаккуратность, невнимательность, незнание аппаратуры, спешка, недостаточная подготовка к работе могут повлечь за собой несчастные случаи.

Лица, не выполняющие правил техники безопасности или допустившие их нарушение, отстраняются от выполнения работ и привлекаются к ответственности.

От студентов, работающих в лаборатории, требуется не нарушать самим и останавливать всех лиц, не выполняющих правила техники безопасности.

Следует помнить, что опасно все оборудование, находящееся под напряжением, причем, напряжение сети 65-220 В является основным источником несчастных случаев со смертельным исходом.

1.2. ЗАПРЕЩАЕТСЯ:

- приступать к выполнению лабораторных работ без ознакомления с правилами по технике безопасности;

- включать под напряжение схему без предварительной проверки лаборантом (преподавателем);

- оставлять без наблюдения схему, находящуюся под напряжением;

- подходить к главному щиту электрического питания;

- снимать или перевешивать предупреждающие и запрещающие плакаты;

- загромождать свое рабочее место вещами, не относящимися к выполняемой работе.

СТУДЕНТ ОБЯЗАН:

- знать места расположения и размещения средств огнетушения и правила пользования ими;

уметь оказать первую помощь, если произошел несчастный случай;

- быть внимательным и аккуратным во время выполнения работы;

- не вмешиваться в работу студентов, выполняющих другую лабораторную работу;

1.3. Правила по технике безопасности при работе с лабораторным оборудованием.

При проведении лабораторных работ необходимо соблюдать следующее:

- перед началом работы необходимо ознакомиться с методическим указанием и правилами техники безопасности по данной лабораторной работе;