где z - постоянная
интегрирования, а интеграл, подобно решению теплофизической задачи, называют
интегралом ошибок Гаусса, в данном случае его следует обозначить .
Уравнение (2.58) переписываем в форме
(2.2.59)
здесь егfс - сокращенная форма записи дополнительной функции (1 -erf). Функции егf и erfc табулированы (см. например, “Справочник по специальным функциям” -М.: Наука, 1979, с. 131). Уравнение (2.2.59) хорошо описывает распределение примесных атомов по глубине при диффузии не только из конденсированной, но также из паровой и газовой фазы. Графические решения уравнения (2.2.59) в виде функции c/c0 = f(x,t) представлены для трех значений времени на рис.2.2.15.
Для точного определения
величины основного параметра диффузии – коэффициента D,
из эксперимента, например, с применением метода меченых атомов, определяется
вид концентрационной зависимости c/c0
= f(x), из которой для
определенной глубины х определяют с/с0. Это соответствует
определению частного значения функций и,
следовательно, erf. Зная эти значения, определяют из
таблиц величину
откуда,
при известных x и t, легко
найти величину коэффициента диффузии D при данной
температуре
.
Рис.2.2.15.Распределение
относительной концентрации диффундирующего вещества от глубины диффузии при
различной продолжительности процесса (t3 > t2
> t1) и одинаковой температуре (диффузия
из постоянного источника)
Можно заметить, что
примерно половина относительного насыщения достигается, когда безразмерный
параметр . Этот факт позволяет грубо оценивать
ход процесса диффузии, если величина D для условий процесса известна. Решение
уравнения (2.58) получено для диффузии в пластинку конечной толщины, в цилиндр
и в шар. Для оценочных расчетов полезно запомнить, что насыщение практически
завершается (достигает более 98%), когда
для
пластинки,
для цилиндра и
для шара, где L - толщина
пластинки, радиус цилиндра или радиус шара соответственно.
2.2.8.1.2. Одномерная диффузия из непостоянного источника
Пусть источник толщиной h (слой краски, напыленный слой металлического проводника, полупроводника, диэлектрика и т.д.) расположен на поверхности x = 0 полубесконечного тела. Существенным отличием от первого случая является возможность истощения источника. Начальное распределение диффундирующего элемента задано в виде
Если h достаточно мало (в принципе h®0), то решение второго уравнения Фика запишется в виде
(2.2.60)
где N0 = c0h - начальное количество, содержащееся в слое
единичной площади. Графические решения уравнения (2.2.60) представлены
схематически на рис.2.2.16 для различной продолжительности t(t3>t2>t1) процесса при постоянной
температуре. Вследствие истощения источника концентрация диффундирующего вещества
в поверхностном слое (x=0) уменьшается с увеличением продолжительности
процесса.
Рис.2.2.16.Зависимость концентрации от глубины при диффузии из непостоянного источника при постоянной температуре процесса в раз личные моменты времени
2.2.8.1.3. Температурная зависимость коэффициента диффузии. Энергия активации диффузии
Уравнение (2.2.60) позволяет на основе экспериментальных данных построить графическую зависимость ln c(x,t) от x2 в виде прямолинейной зависимости в полулогарифмических координатах (рис.2.2.17).
Действительно,
так что угол
наклона a может быть определен.
Поскольку
, то, зная a и продолжительность t процесса
диффузии, найдем величину коэффициента диффузии D при данной температуре.
Рис.2.2.17.График функции, описываемой формулой (2.2.58) в полулогарифмических координатах
Рис.2.2.18.Зависимость коэффициента диффузии от обратной температуры
Вычислив коэффициенты D при нескольких температурах, можно построить график
температурной зависимости коэффициента, диффузии в координатах (рис.2.2.18), из которого следует
факт, что величина коэффициента диффузии, подобно константе скорости химических
реакций, подчиняется уравнению Аррениуса:
(2.2.61)
Причем из графика (рис.2.2.18) можно найти величину энергии
активации процесса диффузии Q, поскольку R - универсальная газовая постоянная. Наконец, зная Q, можно
определить и D0 из уравнения (2.2.61).Установлено также, что
предэкспоненциальный множитель D0 изменяется
в относительно узком интервале от 10-6 до 10-4 м2/с,
а величина энергии активации Q самодиффузии для многих
элементов грубо может быть определена из соотношения
Q = 18 RTпл, (2.62)
где Tпл - температура плавления. Например, для золота (Tпл=1336 К) при расчете по ф.(2.62) Q составляет 2×105 Дж×моль-1, а в эксперименте с мечеными атомами получено Q = 1,9×105 Дж×моль-1, что следует признать очень хорошим совпадением. Коэффициенты диффузии D в твердых телах очень малы при комнатной температуре, например, у того же золота коэффициент самодиффузии составляет только около 10-35 м2/с.
Параметры диффузии, определяемые обычно при высокотемпературных измерениях, имеют определяющее значение для понимания разнообразных технологически важных процессов, протекающих в твердых телах, поскольку они позволяют судить о подвижности атомов и дефектов кристаллической решетки.
Проведение обширных и тщательных измерений коэффициентов диффузии для щелочно-галоидных кристаллов, а также электропроводности в широком интервале температур позволило выявить механизм протекания диффузионных явлений в кристаллах с ионной связью.
Эксперименты, проведенные различными авторами с кристаллами хлористого натрия, показывают, что на графике зависимости коэффициента диффузии от температуры имеются два участка (рис. 2.2.19). Причем, в области высоких температур, иногда называемой областью собственной диффузии, данные для различных образцов, полученные разными авторами, оказываются близкими.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.