Прежде чем проводить анализ, полезно сделать несколько замечаний относительно природы плазмы. Поскольку ионы должны достигать границы плазмы, т. е. границы объема, в котором , со средней энергией, большей kT/2, следует ожидать, что потенциал в плазме изменится на величину, равную примерно kT/e, где Т — электронная температура. Поскольку плотность электронов в плазме пропорциональна exp(eV/kT),можно ожидать ее изменения в 2—3 раза. Существование электронов с максвелловским распределением вплоть до самой границы плазмы накладывает требование, чтобы плазма находилась под достаточно высоким потенциалом относительно границы, т. е. чтобы отражались практически все электроны; в противном случае их максвелловское распределение окажется обрезанным. В разд. 3.8 показано, что хаотический поток электронов в плазме настолько велик по сравнению с ионным потоком, что не будь плазма под потенциалом в несколько kT/eотносительно стенок, электроны уходили бы из нее гораздо быстрее, чем ионы.
Когда быстрые первичные электроны из катода попадают в плазму, их энергия на порядок выше kT. Плотность этих электронов в плазме нечувствительна к относительно малым изменениям потенциала в объеме. Если ионизация вызвана первичными электронами, то, даже если их плотность составляет лишь малую часть общей плотности электронов, скорость ионизации будет постоянной в объеме при постоянной плотности нейтральных атомов. Если, с другой стороны, основным типом взаимодействия первичных электронов является их взаимодействие с максвелловскими электронами и ионизация в основном производится высокоэнергичными электронами хвоста максвелловского распределения, то скорость ионизации в единице объема будет пропорциональна плотности электронов. Наконец, если ионизация максвелловскими электронами идет в основном из возбужденного состояния атомов, плотность которых пропорциональна nе, то следует ожидать, что скорость ионизации будет пропорциональна nе2. Следуя Тонксу и Ленг-мюру [269], обсудим все три случая.
А. Плоская геометрия
Вначале рассмотрим детально плазму, созданную между двумя плоскими параллельными электродами под одним и тем же потенциалом, находящимся на расстоянии 2адруг от друга. Далее обсудим и другие конфигурации. Ожидаемое распределение потенциала показано на рис. 3.3; потенциал очень слабо спадает в области плазмы, где плотности ионов и электронов примерно равны, и на границе имеется слой с толщиной порядка дебаевской длины экранирования, в котором явно превалируют ионы. Предполагается, что поля, перпендикулярные плоскости рис. 3.3, равны1 нулю.
Распределение потенциала V(х)должно удовлетворять уравнению Пуассона (3.13), причем плотность электронов задается уравнением Больцмана (3.12), а плотность ионов была введена в разд. 3.2. Обозначим скорость генерации ионов, т.е. число ионов, возникающих в единице объема в единицу времени, через g(x). Тогда плотность на расстоянии хот медианной плоскости получим, интегрируя по всем ионам, возникающим между этой плоскостью и плоскостью, проходящей через точку х, с учетом их скорости, соответствующей падению потенциала от точки рождения до точки х. Таким образом,
(3.29)
Рис. 3.3. Ожидаемое распределение потенциала в плазме между плоскими параллельными стенками.
В бесстолкновительном случае, т. е. тогда, когда ионы, возникнув, движутся к стенкам без столкновений[3], как и в разд. 3.2, можно положить
(3.30)
Записывая vв виде (3.30), полагаем, что ионы рождаются с нулевой скоростью. Упростим рассмотрение, введя безразмерный потенциал
, (3.31)
где Т — электронная температура, тогда
, (3.32)
Где а . Уравнение Пуассона, где Vзаменено на η, после умножения на (ξ0/n0e) запишем в виде
(3.33)
Выберем η=0 при х=0, так что n0есть плотность электронов в медианной плоскости. Перейдем к безразмерной координате
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.