MicroTec 3.02:Руководство пользователя (МicroTec: Полупроводниковый TCAD калькулятор. Интерфейс пользователя MicroTec. Графика MicroTec: SibGraf), страница 19

Название

Текущее значение

Единицы измерения

Описание

COMM

“Comm“

Нет

Строка комментария будет записана в выходной файл.

BATC

1

нет

Если BATC=1 моделирование без интерактивного построения после каждой IC-точки, если BATC=0, наоборот.

GUMM

100

нет

Количество Гуммелевских итераций до завершения. Итерации останавливаются при достижении конца итераций либо при схождении итераций.

GRES

0.01

КT/q

Остаточный критерий Гуммеля для завершения. Итерации останавливаются, когда будет достигнут остаточный критерий либо максимальное количество итераций.

MODE: Параметры модели

Название

Текущее значение

Единицы измерения

Описание

ELHL

0

Нет

Решение уравнения непрерывности для обоих типов носителей, если ELHL=0. Решение уравнения непрерывности для электронов или дырок, если ELHL равняется 1 или 2 соответственно.

HVDO

0

Нет

Если HVDO =1, то используется модель сужения запрещенной зоны при сильном легировании  Слоутбума, если  HVDO=0, то эта модель не используется.

IMPI

0

Нет

Если IMPI=1, то используется модель  ударной ионизации Chinoweth, иначе  IMPI=0.

#DOP: Аналитические данные легирования

Эта директива может включать в себя любое количество поддиректив DOPA . Профили аналитического легирования описываются суперпозицией областей. Каждая область определяется своей поддиректорией DOPA, описанной следующей формулой

                                                        

                                                                   

Концентрация в каждой области  постоянная  в прямоугольнике, ограниченном Xleft, Ytop, Xright, Ybottom и уменьшается по Гауссиане вне  прямоугольника. N0 максимальная концентрация в области, положительная для доноров и отрицательная для акцепторов.

DOPA: Легирование области

Название

Текущее значение

Единицы измерения

Описание

COMM

Comm

Нет

Название области легирования

DOP

1*1018

См-3

Максимальная концентрация в легированной области.

XLFT

0

мкм

Левая грань легированной области

XRGT

1

мкм

Правая грань легированной области

YTOP

0

мкм

Верхняя грань легированной области

XBOT

1

мкм

Нижняя грань легированной области

ALX

0.05

мкм

Характеристическая длина в X направлении.

ALY

0.05

мкм

Характеристическая длина в Y направлении.

DOPN: Численные данные легирования

Единственный параметр в этой директиве – имя файла с данными легирования. В этом случае файл данных легирования должен содержать данные легирования, сгенерированные программой SiDif или  обработанные программой MergIC, которые получены с помощью программы SiDif

Название

Текущее значение

Единицы измерения

Описание

FILE

нет

Имя файла, в котором сохраняются данные полученные с помощью SiDif или MergIC.

#ELE: Директива электрод

OHMI: Омический электрод