MicroTec 3.02:Руководство пользователя (МicroTec: Полупроводниковый TCAD калькулятор. Интерфейс пользователя MicroTec. Графика MicroTec: SibGraf), страница 14

Формирование устройства.

5.1 Введение

MergIC обеспечивает взаимодействие между программой моделирования процессов SiDif и программой моделирования устройств SemSim. MergIC  объединяет фрагменты приборов, смоделированные с помощью SiDif, в единую область, используемую в моделировании прибора. Фрагменты в этой области могут быть размещены произвольно, симметрично или просто размножены. Выходной файл MergIC, который  содержит данные численного легирования,  является входным файлом в SemSim.

MergICпозволяет значительно уменьшить размер фрагмента, используемого в моделировании процессов и, следовательно, время, затраченное процессором на обработку данных, также значительно уменьшается. MergIC также значительно упрощает генерирование разбиения для моделирования процессов.

5.2 Запуск MergIC

Запуск MergIC из оболочки MicroTec:

-  Выберите проект соответствующий MergIC, или добавьте новый проект, выбрав метод MergIC, в окне Method. MergIC требуется основной входной файл с расширением *.INP и по одному файлу с данными легирования для каждого фрагмента используемого в структуре прибора. Файлы с данными легирования фрагмента должны быть предварительно сгенерированы при помощи SiDif.

-  Отредактируйте параметры, переключившись на вкладку “ProjectSettings”.

-  Щелкните по Run.

Запустить MergIC без оболочки MicroTec можно с помощью командной строки:

mergic <project>.inp

Описание входного файла расположено далее по тексту.

На выходе MergIC генерирует файл с данными легирования, которые будут используются при моделировании прибора, с помощью SemSim. Если вы хотите построить графически данные легирования выходного файла, щелкните по “3DOutput” в главном меню MicroTec, после запуска MergIC.

Обратите внимание: Поскольку в данной версии MicroTec инструмент моделирования устройства SemSim не поддерживает не планарные структуры, планаризация профилей легирования производится в MergIC. Поэтому вертикальные профили легирования, сгенерированные SiDif сдвигаются вертикально так, чтобы совместить границу раздела Si/SiO₂ по линии y = 0. В тоже время, значения концентраций примесей, расположенных за границей первоначальной области сгенерированной SiDif, будут заполнены последним доступным значением, то есть нижним значением концентрации примеси в выходном файле SiDif.

5.3 Входной файл MergIC

-  Каждая директива начинается группой параметров, отделенных пробелами или запятыми и заканчивается “;”.

-  Каждая директива FRAG должна оканчиваться “}”. Последняя директива должна оканчиваться “$”.

-  Все директивы после “$” будут игнорироваться.

MESH: Область и разбиение

FRAG: Описание фрагмента