где
,
и
обозначают плотности токов и
электростатический потенциал.
, (6.4)
, (6.5)
Дополнительный вклад в дрейфовые компоненты вызван сужением запрещенной зоны и рассматривается в соответствии с моделью Slotboom [6]
, (6.7)
где
.
Температурная зависимость ширины запрещенной зоны выглядит следующим образом:
. (6.8)
Собственная концентрация носителей:
. (6.9)
Эффективная плотность состояний:
. (6.10)
. (6.11)
Рекомбинация Шокли-Рида-Холла, Оже рекомбинация и ударная ионизация.
Рекомбинация Шокли-Рида-Холла, Оже рекомбинация и лавинная ионизация из формул:
, (6.12)
, (6.13)
, (6.14)
Используется концентрационная зависимость времени жизни
(6.15)
И аналогичное выражение для дырок.
Ударная ионизация смоделирована с помощью модели Chynoweth [7]
, (6.16)
где
и
(6.17)
Поверхностная рекомбинация имеет место на поверхности раздела полупроводника/окисла или на поверхности неидеальных контактов (например, поликремний или диод Шотки). Скорость рекомбинации описана формулой
, (6.18)
где
,
скорость
рекомбинации для электронов и дырок.
В SemSim доступны несколько типов граничных условий. В идеальных омических контактах использованы следующие условия (принята бесконечная скорость рекомбинации для электронов и дырок)
,
(6.19)
,
(6.20)
, (6.21)
где
результирующая концентрация легирования и
напряжение К-го контакта.
На поверхности контактов Шотки (только для BiSim) концентрация носителей определяется следующими соотношениями
,
(6.22)
,
(6.23)
-
(6.24)
где ФB разность работ выхода собственного полупроводника и металла, n определяет плотность компонент тока нормально к поверхности раздела и равновесные концентрации neq, peq.
,
(6.25)
,
(6.26)
Для изолированных сегментов на границе для плотности тока мы имеем
,
(6.27)
. (6.28)
Для нормальных компонент электрического поля на границах раздела согласно теореме Гаусса мы имеем
(6.29)
где диэлектрические проницаемости
соответствующих материалов и
фиксированная
поверхностная плотность заряда. Для открытых граничных сегментов
равняется нулю. Для
граничных сегментов под контактами затвора электрическое поле аппроксимируется
формулой
(6.30)
где
,
толщина
окисла и
локальное значение потенциала на границе
раздела.
Доступны некоторые опции в зависимости подвижности от концентрации и электрического поля. Для биполярных устройств эти зависимости описываются аналогично [8].
(6.31)
(6.32)
и аналогичное выражение для дырок.
Для МОП устройств применяются как выражения Ямагучи [9] так и соответствующие выражения Ломбарди и др.[10]. В первом случае [9]
(6.33)
(6.34)
где El и Et соответственно продольные и поперечные составляющие электрического поля относительно направления тока. Во втором случае [10] подвижность включает в себя три составляющих
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.