Класифікаційна настроювання електронного мікроскопа: Інформаційне і програмне забезпечення системи автофокусування електронного мікроскопу, страница 3

Колона мікроскопа складається з наступних складових частин:

·  стенда мікроскопа 1;

·  джерела електронів 8;

·  блоку конденсорного 7;

Джерело електронів являє собою електронну гармату, призначену для формування первинного електронного пучка, і складається з катода, що керує електрода й анода, на який через високовольтне введення подається напруга, що прискорює.

Конденсорний блок являє собою систему конденсорних лінз електромагнітного типу, що забезпечують проміжне зменшення кроссовера електронної гармати і тим самим регулюють розмір і інтенсивність електронного зонда на поверхні об'єкта.

Шлюзовий механізм розташований між конденсорним блоком і об'єктивною лінзою і призначений для поділу відкачки верхнього обсягу колони (джерела електронів і конденсорного блоку) від камери об'єктів, що буває необхідно при зміні чи катода досліджуваного об'єкта. Привод апертурної діафрагми призначений для установки змінних діафрагм на оптичну вісь колони  без порушення вакууму.

Об'єктивна лінза призначена для формування кінцевого розміру електронного зонда на поверхні досліджуваного об'єкта.

Детектор вторинних електронів (ВЭ) являє собою детектор Эверхарта-Торнли (сцинтиллятор – светопровод - ФЭУ) і призначений для збору вторинних електронів з поверхні об'єкта дослідження і формування сигналу, що характеризує топографію об'єкта.

Шлюзовий механізм об'єктів призначений для зміни об'єктів без порушення вакууму в камері об'єктів мікроскопа.

Механізм переміщення об'єктів призначений для переміщення в камері предметного столика з об'єктом по координатах X, Y, Z, нахилу  його щодо осі Х, а також обертання щодо осі Y. 

Для детектирования, обробки і візуалізації сигналів, що виникають у процесі сканування об'єкта електронним зондом, призначений відеоконтрольний пристрій (ВКУ). Структурна схема ВКУ включає модулі, канали, плати:

·  пристрій керування;

·  формирователь растра;

·  перетворювач растра;

·  підсилювач растрової системи, що відхиляє, (РІС);

·  пристрій переміщення і динамічного фокусування;

·  відеопідсилювач;

·  нормализатор відеосигналу;

·  АЦП відеосигналу;

·  ЦАП лінз;

·  ЦАП юстировки;

·  пульт і схема керування пультом;

·  інтерфейс ОЗУ;

·  пристрій що фотореєструє;

·  пристрій керування фотомонітором;

·  ОЗУ графіки;

·  ОЗУ зображення;

·  адаптери інтерфейсу і зв'язку;

·  канал напруги, що прискорює;

·  канал розжарення катода;

·  канал харчування детектора;

·  канал харчування фотоприставки;

·  канал харчування фотоелектронного умножителя і колектора;

Особливістю електроніки ВКУ є наявність трьох різних шинних магістралей, по яких йде керування через:

·  високовольтну касету;

·  кроссплату аналогової касети;

·  кроссплату цифрової касети;

Растровий електронний мікроскоп використовує два принципи формування зображення:

·  в вторинних електронах (ВЭ):

·  у відбитих електронах (ОЭ).

Формування зображення у ВЭ. Електронний зонд, прискорений і сформований електронною системою, що відхиляє, що складається з джерела електронів, конденсорного конденсорного блоку і формуючої об'єктивної лінзи, на поверхні об'єкта формується в растр прямокутної форми. При цьому высокоэнергетические електрони первинного пучка випробують пружне і непружне розсіювання, утворити область взаємодії. Якщо має місце непружне розсіювання між слабосвязанными зовнішніми електронами атома й електронами падаючого пучка, електрони пучка втрачають енергію, а слабосвязанные зовнішні електрони эмитируются. Ці електрони мають енергію чи менше рівну 50 e  і називаються  вторинними.

Кутовий розподіл ВЭ при нормальному падінні первинного пучка підкоряється косинусоидальному закону.

Вышедшие з об'єкта ВЭ уловлюються детектором ВЭ Эверхарта-Торнли (сцинтиллятор – светопровод - ФЭУ).