Класифікаційна настроювання електронного мікроскопа: Інформаційне і програмне забезпечення системи автофокусування електронного мікроскопу, страница 2

Теорія автоматичного розпізнавання образів(автоматичної класифікації) у даний година виділилась як самостійна наукова дисципліна, яка являється важливим розділом кібернетики .

Згідно з П.К.Анохіним, процес розпізнання образів складається з двох поділених під година етапів: навчання і екзамену. У зв'явку з цим задачу розпізнання стану ОКУ формулюємо таким чином : на етапі навчання знайти оптимальне в змісті одержання на екзамені максимальної достовірності розпізнання розбиття простору ознак X і на етапі екзамену за результатами обмеженого числа випробувань у робочому режимі функціонування ОКУ прийняти рішення з близькою до одиниці достовірністю про належність розпізнаваного вектора стану деякому класу з даного алфавіту бібліотеки, який має кінцеву множину класів розпізнання. У класичній постановці обмежуються детермінованим розбиттям простору Х  на класи ,…,що не виключає статистичного підходу до розпізнання. Умови такого розбиття множини R мають такий вигляд:

(1.1)

 

За типом вирішуваного правила методи розпізнання образів поділяються на детерміновані, статистичні та детерміновано-статистичні.

        1.2 Опис об’єкту дослідження

Мікроскоп РЕМ-103 призначений для дослідження топографії і контрасту по складу поверхні об'єктів у твердій фазі [].

Область застосування: матеріалознавство, біологія, геологія, металургія, мікроелектроніка, технологія машинобудування, хімія, і ін.

За умовами експлуатації мікроскоп відноситься до виконання УХЛ категорії 4.1 за ДСТ 15150-69  для роботи при температурі (20±5)   ⁰С и для експлуатації в неробочому стані (збереження і транспортування при перервах у роботі) при температурі до мінус 50 ⁰С.  

 Технічні дані.Основні технічні дані растрового електронного мікроскопа РЕМ – 103 приведені в таблиці 1.2.1.

Таблиця 1.2.1

Здатність, що дозволяє, у режимі ВЭ, nm, не гірше		5
Діапазон регулювання збільшення, крат, не менш		10-30000
Діапазон регулювання напруги, що прискорює, k		0.2-40000
Діапазон  переміщення столу об'єктів, nm
По осі X		100+-1
По осі Y		100+-1
По осі Z		50+-1
Діаметр шлюзуемого об'єкта		100
Нелінійні перекручування на екрані відеомонітора, %, не гірше		10
Функціональні можливості і режими роботи ВКУ:
Число нагромаджень у крапці	16,64,128,256,512,1024,2048,4096
Число розкладань,  крапок	256*256,512*512,1024*1024
Додаткове збільшення обраної ділянки, крат				1-10
Відображення на екрані ВМ буквено-цифрової інформації у виді
Символьного (інформаційного) полючи			так
Службових написів			так

Продовження таблиці 1.2.1

Індикація лінійних розмірів об'єктів на екрані ВМ	так
Запис зображення у форматі 512*512 крапок	до 4 сторінок
Максимальна споживана потужність, k, не більш	2,0
Загальна маса мікроскопа без ЗИП і упакування, kg, не більш	1000

Пристрій і робота складових частин мікроскопа.

Конструктивно мікроскоп складається з:

·  стенда мікроскопа з колоною і вакуумною системою;

·  выносного пульта ручного керування вакуумною системою;

·  выносного  пульта керування кроковими двигунами механізму переміщення об'єктів;

·  відеоконтрольного пристрою;

·  пристрою обчислювального;

·  шафи розподільного;

·  шафи високовольтного харчування;

·  системи відкачки;

Основною складовою частиною електронного мікроскопа є колона, усередині якої і відбувається формування електронного зонда, його прискорення, фокусування, розворот у растр прямокутної форми, падіння зонда на об'єкт дослідження збір вторинних і відбитих електронів.