Информатика и выч. техника \ Конструирование и технология микросхем

Разработка технологической инструкции на изготовление генератора в виде гибридной интегральной микросхемы, страница 9

-  установить подложку в подложкодержатель.

-  установить свидетель;

-  откачать рабочую камеру до давления 5* 10-5 мм. рт. ст.;

-  включить кварцевый нагреватель, нагреть камеру до t = 200°С;

-  подготовить к напылению согласно инструкции по эксплуатации;

-  подать на вольфрамовый испаритель ток, открыть заслонку, напылять в тече­ние 2 минут;

-  закрыть заслонку;

-  выключить все источники питания напылительного блока;

-  остудить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий ваку­ум);

-  закрыть затвор, разгерметизировать колпак, поднять колпак;

-  вынуть подложку, поместить её в кассету.

Оборудование: установка вакуумно-термического напыления УВН-2М-1 УРМЗ.279.017.

Инструмент: пинцет МП 500-60, отвертка ГОСТ 17199-71, ключи.

Оснастка: тара для хранения и транспортировки УЭ 7878-29,УЭ 7878-30, УЭ 7878-31.

Материалы: спирт этиловый ГОСТ 18300-72, вата ГОСТ 10477-75, перчатки резиновые ГОСТ 3-53.

7.1.2.  Фотолитография.

- установить скорость центрифуги 2000 об/мин, время вращения одна минута,
согласно инструкции по эксплуатации; ДЕМЗ.281.001 ТО

-  поместить подложку на столик центрифуги.

-  включить вакуумный прижим.

-  нанести каплю фоторезиста на подложку.

-  включить вращение центрифуги.


-  сушить на центрифуге в течении 2 минут;

-  поместить пластины в тару.

Оборудование: вытяжной шкаф 2 ШНЖ - ТУ 95.7028-73, дистиллятор Д-4, микроскоп МБС-9, электрическая плитка ЭПК-7А - ГОСТ 306-69, весы лабора­торные квадрантные модели ВЛК-5ООг - ТУ 25-06-1101-72.

Инструмент: пинцет МН500-60.

Оснастка: термостойкая химическая посуда ГОСТ 9147-73, фторопластовая ванна для травления CMC УЭ7893-4380, кассеты фторопластовые для подложек УЭ 7893-4412, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспорти­ровки УЭ78934412-01.

Материалы: фоторезист ФП9120-1 ТУ6-36-00210134-121-0-96, спирт этило­вый ГОСТ 10157-73, диоксан ГОСТ10455-75 , HF ГОСТ 10484-73, дистиллиро­ванная вода ГОСТ 3424-62, Na3PO4 ГОСТ 9337-79 , вата ГОСТ 10447-75, фильтры бумажные УЭ7887-4105, перчатки резиновые ГОСТ 3-75, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72.

7.1.5. Контроль и межоперационная очистка.

-  поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить в течении 5 мин;

-  сушить подложку в парах спирта (2-3 мин.);

-  контролировать качество промывки каждой подложки под микроскопом
МБС-9;

-  поместить подложки в тару для хранения и транспортировки.

Оборудование: микроскоп МБС - 9.

Инструмент: пинцет МН500-60.

Оснастка: кассеты фторопластовые для подложек УЭ 7893-4412, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортировки УЭ78934412-01.

Материалы: спирт этиловый ГОСТ 10157-73, перчатки резиновые ГОСТ 3-75, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72.

7.2.    Ионно-плазменное напыление SiO2

- модернизировать установку ионно-плазменного напыления путём подклю­
чения высокочастотного блока питания мишени.

-  включить установку в соответствие с инструкцией по эксплуатации
УРМЗ 279.026 ТО

-  подготовленные подножки, поместить в установку ионно-плазменного напыления;

-  откачать рабочую камеру до давления 10" мм. рт. ст. согласно инструкции по
эксплуатации УРМЗ .279.026 ТО.

-  включить подачу аргона;

-  установить вакуум в системе 3* 10"4 мм РТ. ст.

-  включить питание катода;

-  установить ток анода 300 мА;

-  тренировать мишень в течение 30 мин;

-  включить вращение карусели с подложкодержателями;

-  открыть заслонку;

-  производить напыление SiO2 в течение 1 часа;

-  закрыть заслонку;


-  выключить вращение карусели;

-  выключить все источники питания напылительного блока;

-  закрыть все вентили подачи аргона;

-  остудить подколпачное устройство до температуры 80°С;

-  закрыть затвор;

-  разгерметизировать колпак;

-  вынуть подложки;

Оборудование: установка ионно-плазменного напыления УРМЗ.297.026; вы­сокочастотный блок питания мишени.

Инструмент: пинцет МН500-60, ключи.

Оснастка: тара для хранения и транспортировки подложек УЭ7893-4412-01.

Материалы: аргон высшего сорта ГОСТ 10157-73, спирт этиловый ГОСТ 5962-67, вата ГОСТ 10447-75, перчатки резиновые ГОСТ 3-75, жидкий азот ГОСТ9293-59.

7.2.      Травление обратной маски.

- поместить в ванну с раствором FeCI3, выдерживать до полного удаления
медной маски;

-проверить качество травления под микроскопом, при необходимости повто­рить две предыдущих операции;

-провести окончательную очистку подложки,

-контроль качества провести визуально под микроскопом каждой подложки;

Оборудование: микроскоп тип МБС-1 -ТУЗ-3.201-71; вытяжной шкаф 2ШНЖ ТУ 95.7028-73;

Технологическая оснастка и инструмент: воронка ВФ 1 56 ХУ-1 - ГОСТ 8613-64Ю; стакан типа ВН/100 - ГОСТ 10394-72; дистиллятор Д-4, секундомер -ГОСТ 5072-72; кассета для подложек - УЭ 7893-4411; фторопластовая ванна для травления - УЭ 5682-4694; перчатки хирургические ГОСТ 3-75 напальчники ре­зиновые ГОСТ 14681-69; пинцет 7814-0001 - МН 500-60.

Материалы: спирт этиловый ректификованный технический высшего сорта -ГОСТ 18300-72, вода дистиллированная - ГОСТ 6709-72, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, напальчники ГОСТ 1481-69.

7.3.      Контроль и межоперационная очистка.

-  поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить в течении 5 мин;

-  сушить подложку в парах спирта в течении 2-3 минут;

-  контролировать качество промывки каждой подложки под микроскопом
МБС-9;

-  поместить подложки в тару для хранения и транспортировки.

Оборудование: микроскоп МБС - 9.

Инструмент: пинцет МН500-60.

Оснастка: кассеты фторопластовые для подложек УЭ 7893-4412, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортировки УЭ78934412-01.

Скачать файл