Оборудование: установка для вакуумно-термического напыления УВН-2М-1 УРМЗ.279.017, полуавтомат по нанесению фоторезиста дЕМ3.281.001.ТО, установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-1 дЕМ3.023.002И; установка совмещения и экспонирования ЭМ-526 Я2М2.252.005ФО, вытяжной шкаф 2ШНЖ ТУ.95.7028-73УФ-400, дистиллятор Д - 4 ТУ 13815, микроскоп МБС - 9 ТУЗ.-3201-79; электрическая плитка ГОСТ 14919-83.
Инструмент: пинцет ME 500-60, секундомер С-1-2а ГОСТ 5072 - 72.
Оснастка: химическая посуда УЭ 7878-4229, ванны для травления УЭ 7893-4380, кассеты фторопластовые для подложек УЭ7893-4412-02, пипетка для фоторезиста ГОСТ 9876-73, индикатор, тара для хранения и транспортировки УЭ 7878-29, УЭ 7878-30, УЭ 7878-31; фотошаблон.
Материалы: фоторезист ФП 9120 - 1 ТУ 6 - 36 -00210134-121-0-96; спирт этиловый ГОСТ 18300 - 72, диоксан ГОСТ 10455 - 75; HNO3 4461 -67, HP ГОСТ 10484-73, дистиллированная вода ГОСТ 6709-72, Na3PO4 ГОСТ 4328 - 77; вата ГОСТ 10447-75, фильтры бумажные ТУ 6-09-1678-72, перчатки резиновые ГОСТ 3-53
7. Изготовление защитного слоя 7.1. Нанесение фоторезиста:
- Установить скорость центрифуги 2000 об/мин. Время вращения одна минута. Согласно инструкции по эксплуатации ДЕМЗ.281.001 ТО;
- Поместить подложку на столик центрифуги;
- Включить вакуумный прижим;
- Нанести каплю негативного фоторезиста ФН-11 на подложку;
- Включить вращение центрифуги;
- Поместить пластину в сушильную камеру (t = 90 С. время 15 мин.);
- Поместить пластину на столик установки совмещения экспонирования;
- Произвести установку
фотошаблона в шаблонодержатель согласно с
инструкцией по эксплуатации;
- Произвести совмещение изображения фотошаблона с подложкой согласно с инструкцией по эксплуатации;
- Произвести экспонирование рисунка
фотошаблона на подложку (время
экспонирования 1 мин.);
- Поместить пластину в посуду с проявителем
(состав проявителя: раствор
толуола ГОСТ 5789-69 в дистиллированной воде);
- Проявлять в течение необходимого для
проявления времени, но не более 3
мин;
- Контролировать качество проявления
визуально под микроскопом МБС-9.
В случае необходимости произвести ретушь или
допроявление;
- Поместить пластину в термостат, дубить в течение 10 мин. при t=160°C.
Оборудование: ПФН - 1 ЛЕМ3.281.001 ТО, УСДФ 1 ЛЕМ3.023.002И, микроскоп МБС -9 ТУЗ.-3201-79, установки совмещения экспонирования ЭМ.526 Я2М2.252.005ФО., дистиллятор Д - 4 ТУ 13815,вытяжной шкаф 2ШНЖТУ.95.7028-73УФ-400;
Инструмент: пинцет МН500-60. Секундомер С - 1 - 2а ГОСТ 5072 - 72.
Оснастка: химическая посуда УЭ 7878-4229, ванны для травления УЭ 7893-4380, пипетка ГОСТ 9876-73., тара для травления и транспортировки УЭ 7878-29, УЭ 7878-30, УЭ 7878-31.
Материалы: негативный фоторезист ФН1, 2%-й раствор Na3PO4, дистиллированная вода ГОСТ 6709-72.
8. Контроль параметров плёночных элементов(подстройка).
- проверить значения параметров пленочных резисторов и конденсаторов на соответствие номинальным значениям. Значения параметров должны соответствовать таблице 2 на топологическом чертеже КГТУ 7.846.002.
Оборудование: тестер универсальный Ц-237, микроскоп МБС-9.
Инструменты: пинцет МН500-60.
Оснастка: тара для хранения и транспортировки УЭ78934412-01
9. Монтажно-сборочные операции
9.1 Резка пластин на модули (резка пластин производится на автомате скрайбирования пластин "Алмаз")
-установить на передний столик скрайбируемую пластину, зафиксировать её, включив клапан "Фиксация пластин";
-установить функциональный переключатель в положение "Быстро";
-оперируя переключателем "X" (настройка) и вращая винт разворота предметного столика по углу, добиться параллельного перемещения контактных площадок относительно оси "X", а затем предметный столик перевести в крайнее положение;
-установить функциональный переключатель в положение "Медленно";
-переключением "X" (настройка) перемещаем пластину вместе с предметным столиком до совмещения зоны скрайбирования между схемами с вертикальной линией перекрестия окуляра микроскопа;
-установить функциональный переключатель в положение "Ручное скройби-рованье";
-произвести скрайбирование;
-снять подложки по окончанию цикла и произвести разделение пластин на модули;
Оборудование: установка скрайбирования "Алмаз".
Инструменты: пинцет МН500-60.
Оснастка: устройство для разделения пластин на модули.
5. Изготовление резисторов первой группы
5.1 Напыление сплава PC 3710
- включить вакуумную
установку в соответствии с инструкцией по её эксплуа
тации.
- подготовить вакуумную
камеру к напылению в соответствии с
УЭ.25200.00121.
- установить испарители на токоотводы в
вакуумную камеру пользуясь плос
когубцами, ключом и отверткой.
- засыпать резистивный сплав PC 3710 в корпус вибропитателя примерно на
2/3 его объема.
- подготовить подложкодержатель и
контрольный образе — "Свидетель" к
установке в вакуумную камеру в следующем порядке:
а) протереть подложкодержатель
батистом-мерсиризованным, смоченным
спиртом и уложить их на столе.
б) достать пинцетом контрольный образец из бокс для
хранения и транс
портировки подложек.
-установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.
- проверить цепь
контрольного образца-свидетеля на отсутствие обрывов и ко
ротких
замыканий.
- проверить работу заслонки.
Заслонка должна свободно открываться и закры
ваться.
- опустить колпак. Произвести откачку
воздуха из камеры до давления 10~5-10~6
по термопарному вакуумметру.
- включить нагрев
подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечи
вающий нагрев подложек до
температуры 200±10°С.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.