Рис.1.27. Составляющие повышения качества ИМС.
С точки зрения технологических процессов важнейшей составляющей является блок информации, то есть параметры, отвечающие за качество. Они должны быть измеряемыми, это обязательное условие. Вопрос: как их собрать, проанализировать, интерпретировать? Одна из задач персонала – владеть приемами анализа качества продукции, в т.ч. аппаратурой и методиками контроля и анализа параметров технологии. Измерение величин параметров процессов, пластин, материалов, структур - основа для будущего статистического контроля технологии.
Основные сведения о методах контроля и анализа:
1. Методы контроля и анализа используются для проверки полупроводниковых пластин, параметров материалов, формы и размеров структур, дефектности и т.д.
2. Количество контролируемых параметров и диапазон этих параметров задаются разработчиками технологии и корректируются по мере необходимости, как правило, в сторону ужесточения.
3. Методы контроля и анализа в микроэлектронном производстве по отношению к полупроводниковым пластинам, материалам, структурам могут быть разделены на:
- неразрушающие – допускают продолжение использования пластин со структурами в маршруте (например, измерение толщины диоксида кремния на выборочной рабочей пластине), или повторное использование контрольных пластин; - разрушающие.
4. Методы контроля и анализа могут быть визуальными и инструментальными, экспресс-методами и т.д.
1.8.5. Инженерные задачи на современном предприятии микроэлектроники Основные функции инженера-технолога в цехе:
- повышение качества продукции;
- ежедневная рутинная работа в пределах рабочего места и, как правило, ограниченного круга лиц;
- техническая поддержка конкретного технологического процесса/группы процессов в производстве;
- работа с операторами (рабочими), умение самостоятельно выполнять все необходимые работы на подотчетном оборудовании;
- анализ браков на всех подотчетных операциях и отчетность за брак;
- курирование работы оборудования;
- ежедневная (ежесменная) отчетность и передача вопросов инженерам другой смены;
- подготовка и участие в производственных совещаниях;
- отработка технологии при запуске нового оборудования.
Основные функции инженера-технолога в исследовательских отделах:
- улучшение качества продукции;
- фактически ненормированный рабочий день зачастую не в пределах рабочего места, может быть широкий круг контактных лиц;
- самостоятельный сбор и обработка экспериментальных данных в серийном, опытном и экспериментальном производстве;
- отработка технологии при запуске нового оборудования под новую серию приборов;
- передача процесса производственникам;
- техническая поддержка конкретного технологического нового процесса при освоении новой серии приборов;
- анализ браков на всех подотчетных операциях;
- регулярная отчетность о результатах (первичной обработки данных);
- подготовка и участие в совещаниях и презентациях данных (в том числе для начальства).
В теме 1-1 (рис.1.12 ) было показана взаимосвязь технологических процессов производства ИМС. С точки зрения обработки материалов процессы были классифицированы (см. табл.1.1.) на процессы создания, удаления и модификации материалов. Оборудование для этих процессов можно классифицировать на технологическое (термическое, газовое, вакуумное, плазменное, оптическое, технохимическое, и т.д.), аналитическое и контрольно-измерительное оборудование.
Параллельно с развитием самой микроэлектронной технологии происходит модернизация оборудования. Общие тенденции модернизации оборудования:
- повышение безопасности
- повышение экологической безопасности
- повышение производительности
- повышение точности
- улучшение воспроизводимости
- улучшение надежности
- уменьшение удельных габаритов, массы
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.