D o cu m e n t :
M a te ria l co n stra in ts
Id e n tity P ro ce ssin g sta te M a in -M a te ria l typ e S u b -M a te ria l typ e
|
0 0 1 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : S T A R T 0 0 2 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : D L 3 0 2 0 0 3 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : D R 3 0 3 0 0 4 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : D G 0 0 1 0 0 5 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : C Q 0 0 7 0 0 6 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : D R 0 0 1 0 0 7 .0 0 0 E X E C U T E _ R E C IP E R e cip e : D G 0 3 5 |
S ta g e : W F R -S T A R T W fr S ta rt S ta g e : L S R -S C R IB E L srS crib e S ta g e : IN IT 1 -O X P o st-L srS crib e R C A C le a n S ta g e : IN IT 1 -O X 4 5 0 IN T O X S ta g e : IN T O X 1 -R E M O xid e S trip S ta g e : P A D 1 -O X R C A C le a n S ta g e : P A D 1 -O X 1 0 0 P A D O X (D R A M ) |
В случае необходимости эксперимента по параллельным направлениям, в Runsheet закладываются варианты из предварительно согласованной и утвержденной Split Table. В случае, когда предприятие не имеет той или иной технологической операции (установки), в Runsheet закладывается т.н. DEMO эксперимент. DEMO – демонстрационный эксперимент с производителями оборудования или технологии, который выполняется по отдельно согласованному и утвержденному плану эксперимента. Он должен дать ответ на вопрос о том, пригодны ли оборудование и технология потенциальных поставщиков для разрабатываемой предприятием технологии. После окончания DEMO эксперимента и тестирования пластин делается выбор того или иного поставщика.
Техническая работа с лотом связана с изменениями в экспериментах, в особенности при длинных маршрутах. Доступ к внесению изменений в утвержденный Runsheet имеет только “владелец” лота или уполномоченное на то лицо. Доступ регламентируется личным паролем. После одобрения и запуска лота проведение любого изменения является очень сложной процедурой и регулируется т.н. SPSR - Special Process Step Request.
SPSR - заявление на изменение, которое оформляется на бумаге и подписывается у всех заинтересованных сторон. После этого изменение передается в отдел техдокументации, вносится в центральный компьютер и постоянно хранится в отделе техдокументации.
Окончание любого “маршрутного” эксперимента – тестирование пластин на электрофизические параметры, выполняемое по огромному числу параметров по всей площади подложки. Осуществляется вне Clean-room в измерительной лаборатории и представляется для каждой пластины лота как показано на примере рис.1.26.
Современное микроэлектронное производство является сложным, материалоёмким и наукоёмким, т.е. чрезвычайно дорогостоящим производством. Производство работает круглосуточно; объем запуска может составлять до 30.000 пластин в месяц. Возникающие в ходе производства технические проблемы зачастую очень сложны и приводят к браку, т.е. к потере качества продукции на отдельных операциях и в целом. Потеря качества продукции привит к остановке производства, потере заказчиков и, следовательно, к гигантским экономическим потерям. Глобальная цель микроэлектроники – повышение качества продукции – складывается из 3-х составных частей, см. рис.1.27. В отдельности ни одна из этих составляющих не приводит к повышению качества. Имеет место, например, слоган: “Quality is a way of life”.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.