Повышение плотности эмиттируемого плазмой электронного тока под действием ионной бомбардировки внешне выглядит как ионно-электронная эмиссия. Для количественной характеристики этого эффекта можно по аналогии с твердыми эмиттерами ввести коэффициент ионно-электронной эмиссии плазмы γр, который выражается количеством электронов, дополнительно эмиттируемых плазменной поверхностью при поступлении через нее в плазму одного иона
, (17)
где – прирост плотности электронного эмиссионного тока при поступлении в плазму ионного потока с плотностью ji.
Выражая через параметры плазмы из (16) и полагая, что ne ≈ ni, (17) можно представить в виде
, (18)
где = – прирост концентрации заряженных частиц в плазме у поверхности токоотбора; – тепловая скорость электронов в плазме. В общем случае зависит от параметров ионного потока, упругих и неупругих взаимодействий ионов с плазмой, а также от электромагнитного поля в плазме.
1. Значение γр минимально, если пренебрегать столкновениями ионов с частицами плазмы, т. е. при Qi0pL<<1, где Qi0 – полное сечение взаимодействия иона с плазмой; р – давление газа в плазме; L – характерный размер плазмы в направлении ионного потока.
В этих условиях добавочную концентрацию ионов можно выразить соотношением
, (19)
где – средняя скорость ионов, поступающих из ускоряющего промежутка в плазму. Скорость эта зависит от распределения электрического поля и плотности газа в ускоряющем промежутке. Подставляя (19) в (18), получаем выражение для минимального коэффициента ионно-электронной эмиссии
(20)
Для ПИЭЛ, работающего на аргоне с ускоряющим напряжением U ≈ 104В при Te = 6 – 104К, расчетное значение составляет ≈ 0,5. Учитывая, что j i≈ (10-4– 10-3)je, при низких давлениях в плазменной камере влиянием ионизации в ускоряющем промежутке на ток пучка можно пренебречь.
2. Значение γр максимально при отсутствии полей в плазме при Qi0pL>>1. Значительная часть ионов перезаряжается вблизи границы токоотбора и за счет диффузии уходит из этой области. Баланс перезарядившихся ионов для элементарного слоя плазмы на расстоянии z от ее границы можно представить в виде
(21)
где Quo – сечение перезарядки; Di = , – сечение передачи импульса иона; – средняя скорость перезарядившихся ионов. Дважды интегрируя (21) при условии, что Di(dni/dz) = 0 при z=0, ni = ni0 при ji = 0, получаем
(22)
Полагая, что =, ni0 = ne0, прирост концентрации электронов на границе плазмы (z = 0), вызванный поступлением в плазму ионов, можно выразить следующим соотношением:
(23)
После подстановки = из (23) в (18) для максимального коэффициента ионно-электронной эмиссии плазмы имеем
(24)
При оценке не учитывалось приращение плотности плазмы за счет быстрых ионов, поскольку обычно >>. Если использовать в качестве рабочего газа аргон, то, как следует из (24), ≈ 4,5·103, что на три порядка больше коэффициента ионно-электронной эмиссии твердых катодов. Во всех реальных случаях находится в области
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.