Толстые пленки в микроэлектронике, страница 16

2.  Точная подгонка.

В процессе воздушно-абразивной подгонки благодаря местным перегревам, вызываемым воздействием абразива, и бомбардировки мелкими быстролетящими абразивными частицами происходит некоторое снижение качества резистора. Это приводит к тому, что установившаяся величина сопротивление подогнанного резистора отличается от сопротивления, которое он имел непосредственно после подгонки и которое медленно изменялось в течении нескольких часов, ограничивая точность подгонки. Неправильное считывание показаний прибора может привести к тем же последствиям, что и переподгонка. Значительную часть этой ошибки можно учесть, немного изменяя технологический номинал. Труднее компенсировать эффект старения. Однако и это можно сделать, если неизвестна поправка на старение. Для многих схем важна не столько точность подгонки абсолютного значения, сколько точность соотношения значений параметров нескольких элементов. Другим важным фактором является одинаковое изменение характеристик. Если все резисторы на одной подожке изготовлены их одной композиции без подгонки, то их характеристики будут изменяться во времени или под воздействием температуры почти одинаково. Однако это положение может нарушиться при неправильном расчёте технологии схемы или в результате применения подгонки.

3.  Подгонка мощных резисторов.

Для мощных резисторов нежелательно применять форму с большим числом квадратов, так как в этом случаи возрастает вероятность возникновения местных перегревов. Более удачной является форма резистора в виде “высокой шляпы”, потому что после подгонки резистор остаётся однородным по ширине и рассеиваемая мощность распределяется по нему равномерно.

4.1.б. Подгонка конденсаторов.   

Конденсаторы же подгоняются “в минус”, то есть во время подгонки происходит изменение ёмкости от большего значения к меньшему значению. Наиболее распространенными являются методы воздушно-абразивной и лазерной подгонки; как простейшие соскабливание вручную или автоматическое с механическим приводом, скрайбирование алмазной иглой, обработка ультразвуком или дуговым, окислительно-восстановительные процессы, подгонка при помощи импульсного напряжения и высокой частоты.

Воздушно-абразивная подгонка конденсаторов значительно сложнее подгонки резисторов. Если производить подгонку конденсаторов так же, как подгонку резисторов, то есть полным удалением материала до самой подложки, то электроды конденсатора (на краях) будут разделены всего лишь тонким слоем диэлектрика. Возникает опасность переноса материала верхнего электрода на боковую кромку диэлектрика, а это в свою очередь может привести к короткому замыканию или ухудшению его характеристик. Конденсатор с такой подгонкой имеет более низкую электрическую прочность, его надёжность резко уменьшается правда, на место среза можно нанести защитное покрытие (стекло или пластик), но это не даёт полного решения проблемы – прежний уровень электрической прочности уже не достигает и несколько изменяется ёмкость, что затрудняет точную подгонку.

Лучшим методом подгонки конденсаторов надо считать удаление части только верхнего электрода, при этом диэлектрик полностью или в большой своей части остаётся на месте. Конденсаторы с более высокой диэлектрической постоянной труднее поддаются точной подгонке, так как их диэлектрики заметно меняют свои свойства во время подгонки.

Установки для подгонки резисторов или конденсаторов всегда в состоянии обеспечить большую точность относительных величин, чем их абсолютных значений. Если установка обеспечивает подгонку абсолютного значения с точностью до 0,25%, то подгонка относительных значений будет без особых затруднений осуществляться с точностью до 0,1% на той же установке.

4.1.2. Воздушно-абразивная подгонка.