Физико-химические основы технологии электронных средств

Конспекты лекций

• Основные технологические группы процессов в производстве электронных средств. Пучки атомных частиц, излучения и поля в качестве инструмента в технологиях электронного машиностроения
• Физико-технологические основы нанотехнологии
• Физико-химические и физические основы ионных, ионно-плазменных, плазмохимических методов нанесения и травления микроэлектрон­ных структур
• Физико-химические основы зарождения и роста новой фазы в виде тонких пленок в технологических процессах
• Физико-химические основы нанесения толстых пленок. Состав паст. Процессы нанесения и термообработки толстых пленок
• Физико-химические основы термовакуумного испарения и осаждения материалов

Курсовые работы

• Толстые пленки в микроэлектронике

Рефераты

• Закономерности и механизмы диффузии и ионной имплантации примесей в полупроводниковых материалах и структурах. Термическая диффузия
• Контактная и проекционная литография
• Сканирующая зондовая микроскопия
• Физико-химические и физические основы ионных, ионно-плазменных, плазмохимических методов нанесения микроэлектронных структур
• Физико-химические основы нанесения толстых пленок. Процессы нанесения и термообработки толстых пленок
• Физико-химические основы эпитаксиальных процессов
• Электронно-лучевая обработка

Статьи

• АСМ визуализация In-Situ ионных треков в окиси кремния с использованием селективное травление в растворе