Физические основы микроэлектроники, конспект лекций, страница 27

         Требуется определить отношение концентраций основных и неосновных носителей тока, диффузионную длину дырок и плотность дырочного тока.

         3.6.10. Образец дырочного антимонида индия имеет подвижность электронов 6,2м2 /(В·с) при 290 К. Определить диффузионную длину неосновных носителей заряда, если их время жизни τ=3·10-8с.

4. КОНТАКТНЫЕ И ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ В

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ

В микроэлектронике исключительно большую роль играют различного рода контакты. Поэтому качество и надежность электронно-вычислительных средств во многом определяются физическими явлениями, протекающими в них.

         Все электронные контакты можно классифицировать по различным признакам. Например, линейные и нелинейные, инжектирующие и неинжектирующие, омические и неомические и т.д.

         Контакты каждой группы должны отвечать определенным требованиям  [I] .

         Наиболее широкое практическое применение получили следуюшие контактные системы : полупроводник -  полупроводник, металл  - полупроводник  (диэлектрик), металл – металл. Между этими конструктивными элементами возникает некоторое переходное сопротивление, зависящее от формы контакта, материалов структуры и технологии изготовления. Это сопротивление и определяет роль контакта.

4.1. КОНТАКТ ПОЛУПРОВОДНИК-ПОЛУПРОВОДНИК.

         Различают контакты на границе раздела областей с различным типом проводимости в объеме одного полупроводника и контакты на границе раздела двух разнородных полупроводников. Контакты первого типа называют гомопереходами или электронно-дырочные  p - n – переходы. Контакты второго типа  - гетеропереходами.

                                  Электронно-дырочным переходом называют поверхностный слой между двумя областями полупроводника, одна из которых имеет проводимость p– типа, а другая n– типа. Рассмотрим физические процессы в p - n – переходе с наиболее простым ступенчатым распределением  легирующей  примеси, как показано на рис 4.1.а.

 


Nq

 
                                                                                         x=0

                      a)                                                                          б)

 


ξср