- ограждение всех доступных для прикосновения токопроводящих частей ;
- выполнение правил устройства электроустановок.
При перерывах подачи электроэнергии, или выхода из рабочего помещения необходимо установку выключать. Не оставлять без присмотра установку находящуюся под напряжением. Соблюдать режимы работы установки согласно техническим требованиям предъявленным к ней. Не работать при снятых считках установке и открытых дверях шкафа управления. Соблюдать осторожность с нагретыми частями установки во избежании ожогов ( нагреватель парамасленного насоса, подложки, нагреватель подложек, испарители и горячая вода ).
В следствии высоких энергий и температур, развивающихся при напылении выделяются газы, пары и аэрозоли, повышающие содержание вредных веществ в воздухе. Поэтому необходимо осуществдять мероприятия в результате которых содержание вредных веществ в зоне дыхания работающего снижается до придельнонизких концентраций.К основным из них относятся :
1. Автоматизация процессов напыления с дистанционным управлением технологического оборудования, применение работизированных комплексов ;
2. Внедрение прогрессивных технологий герметизированного оборудования, низкотаксичных материалов, исключающих или ограничивающих выделение ядовитых веществ и попадание их в рабочую зону ;
3. Применение приточно-вытяжной вентиляции и кондиционирование воздуха ;
4. Использование катушек и фильтров вредных веществ в зоне их выделения, не допуская их распространения по всему помещению и попадания в атмосферу.
На протяжении ряда лет вакуумные процессы снижались экологически чистыми и практически безопасными для обслуживающего персонала. Ситуация изменилась в связи с широким внедрением в практику плазменных методов травления и активации поверхности, нанесение тонких пленок, процессы полимеризации и химические методы осаждения пленок из газовой фазы. Реакции происходящие в плазме приводят к образованию агрессивных, токсичных и взрывоопасных соединений . Если в лабораторных исследовательских установках их количество незначительно , то при переходе к промышленному производству необходимо применять следующие средства безопасности .
Наибольший интерес представляют следующие плазмомеханические процессы : вызывающие образование агрессивных соединений , приводящих к коррозии элементов конструкции вакуумных установок и деградации вакуумных масел, в результате чего образуются взрывоопасные смеси , способные создавать аварийную ситуацию ;приводящие к образованию токсичных веществ , представляющих опасность для персонала обслуживающего оборудование и проводящего его профилактику .
В плазмомеханических процессах участвуют различные газы . Особенно опасны утечки газов в производственных помещениях . Так аммиак при концентрации 16-25 % воспламеняется в воздухе . Окислители в обогащенной форме могут изменять условия горения смеси , с которой они контактируют . Безводный фтористый водород может вызвать смертельный исход при ожоге лица , даже в том случае , когда обожжено лишь 25 % поверхности .
При испарении и распылении полимеров образуется большой спектр продуктов разложения .
Процессы обработки различных подложек в плазме тлеющего разряда , весьма распространенные в различных вариантах приводят к образованию токсичных материалов даже при работе с абсолютно нейтральными веществами , такими как стекло . Если в разрядный промежуток вводится воздух , то в камере и на выходе откачной системы наблюдается выделение NO , NO2 , N2O . При напуске диоксида углерода на выходе резко увеличивается количество оксида углерода.
При профилактике вакуумных камер следует максимально исключить прямой контакт пыли металла и его соединений с кожей . Токсичная пыль и аэрозоли накапливаются в изгибах откачных патрубков , а также в маслах насосов . Кроме того , в маслах растворяются токсичные и взрывоопасные газы , а фтор и хлорводороды с парами воды образуют очень агрессивные смеси . Причем концентрация вредных веществ может превышать ПДК . Применение охлаждаемых жидким азотом ловушек , активируемого угля и силикагелей частично решает проблему масла форвакуумного насоса .
7 Основные выводы о проделанной работе
Литература
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.