Импульсные методы нанесения алмазоподобных покрытий. Методы получения и свойства алмазных пленок. Импульсное газофазное осаждение алмазных пленок, страница 15

Механические свойства алмазоподобных покрытий с подслоем титана определяем на микротвердомере  ПМТ-3 согласно методик , изложенных во второй главе . Расчеты велись используя формулы (3) и (5) , согласно которых мы можем расчитать восстановленную микротвердость Н и характеристический параметр оценки адгезионной прочности. Так как мы исследовали образцы с различными толщинами подслоя титана и образцы с различным временем нанесения алмазоподобного покрытия и толщиной титаного подслоя d=65 нм, что дала возможность сделать выводы по выполненной работе. А именно, какое влияние оказывают толщина подслоя нитрида титана и увеличение числа импульсов при нанесении покрытия, на механические свойства алмазоподобных покрытий при испытаниях на вдавливание с измерением диагонали остаточного отпечатка. Результаты измерений и расчета приведены в таблице 3 . По данным измерениям нам удалось выявить определенные зависимости адгезионной прочности алмазоподобного покрытия  в зависимости от увеличения частоты импульсов. Так как все данные в формулах были измеряемые, то был найден доверительный интервал для значений восстановленной микротвердости  Н.

На основании расчитаных величин я смогла построить зависимость микротвердости Н от нагрузки, которую мы прикладывали проводя опыты. на






Рисунок 10 – Графики зависимости восстановленной микротвердости Н от нагрузки , Н= f(Р) .

- подслой титана равен 39 нм ;

- подслой титана равен 52 нм ;

- подслой титана равен 65 нм .      основании полученных зависимостей мы смогли подтвердить теоретическое предположение о том, что между второй и третьими стадиями твердость может переходить через минимум, а затем через максимум . данные зависимости представлены на рисунке 10 и рисунке 11 .


Рисунок 11 – Графики зависимости восстановленной микротвердости Н от нагрузки , Н=f(Р).

-  подслой титана равен 104 нм ;

-  подслой титана равен 130 нм .

Рисунок 12 – Зависимость характеристического параметра        от толщины титанового подслоя.

Основной задачей являлось выяснить зависимость характеристического параметра адгезионной прочности от толщины алмазоподобного покрытия. График зависимости     =f(       ) приведен на рисунке 12 .

Таким образом такой вид кривой можно объяснить следующим образом . Первая часть кривой объясняется образованием дополнительного межфазного подслоя оксида титана (TiO2), который при толщине слоя Ti до 65 нм  образовывается в достаточно большом количестве и тем самым оказывает отрицательное влияние на  адгезионную прочность покрытия  . Во второй части при толщине Ti 104 нм и 130 нм начинают сказываться пластические свойства титана и поэтому внутренний валик для образования трещин герца образовывается больше и быстрее при более толстом подслое титана . А толщина титана равная 65 нм дает возможность достигнуть наиболее высокой адгезионной прочности  покрытия .

При статичесткой обработке результатов мы рассчитали  что, среднее арифметическое отклонение  экспериментальных данных а1 , а2 , а3  , …  , аn , при прямых измерениях  равно :                    

 ,                                                          (     )

Отклонение каждого из n измерений  от среднего арифметического  оценивали средней кубической погрешностью:               

   ,                                                  (      )

S1=0,65 ГПа ;

S2=0,65 ГПа ;

S3=2,97 ГПа ; 

S4=1,3 ГПа ;

S5=0,65 ГПа.

Тогда среднее квадратичное отклонение  можно определить из выражения:

 .                                                               (    )

C учетом надежности (Р=0,95) и числа измерений мы определим коэффициент Стьюдента ta , вычислим доверительный интервал :

а=   Sn   ta  ,                                                            (      )

а=0,76   2,75=2,01 Гпа .

Тогда  искомую величину можно записать а=(18,422,01) ГПа  .

Относительная погрешность в этом случае равна:

%  ,                                                            (     )

%=%  .

4  Технология формирования АПП с подслоем титана на иглы форсунок