Аморфные полупроводники. Классификация и свойства аморфных полупроводников. Методы получения аморфных полупроводников, страница 4

Аморфная форма Si и Ge образована группами, состоящими из четырех атомов, объединенных в тетраэдры. На рис. 3 показана модель решётки аморфного кремния [1]. Основное отличие аморфной формы от кристаллической заключается в том, что в пер­вой из них тетраэдры ориентированы относительно друг друга слу­чайным образом. Тот факт, что взаимное расположение  ближайших  соседей  в аморфном состоянии остается неизменным, играет очень важную роль, обусловливая не слишком сильное различие в свой­ствах двух форм. При плавлении это тетраэдрическое взаимное рас­положение исчезает. Возникает намного более плотная упаковка, при которой число ближайших соседей равно восьми, и Si и Ge ста­новятся металлами, так же как при очень высоких давлениях.  

Рис. 3. Механическая модель решётки аморфного кремния, показывающая существование «одиночной  оборванной связи». Такие центры не существуют в кристаллическом кремнии, где отсутствующие атомы (вакансии) дают несколько оборванных связей.

До последнего времени считалось, что одним из очень сильных различий между аморфными и кристалли­ческими Si и Ge является тот факт, что кри­сталлическая форма очень чувствительна к введению весьма малых количеств примесей элементов III и V групп, в то время как аморф­ные Si и Ge нечувствительны к введению примесей, так что для за­метного изменения их электропроводности требуется концентрация примесей порядка 1020 см-3. Считалось, что это обусловлено тем, что избыточный или недостающий электрон может быть соответст­венно захвачен или восполнен благодаря изменению связей в струк­турном дефекте или в других связях. Незаполненные локализован­ные состояния могут быть присоединены и к примесным состояниям, если уровень Ферми в нелегированном материале расположен вбли­зи середины запрещенной зоны подвижностей (рис. 4).

Наличие мно­гих состояний в запрещенной зоне зависит от метода приготовления образца. Можно приготовить тонкие пленки с меньшим числом состояний в запрещенной зоне, чем это было найдено раньше. В результате  появилась возможность влиять на электропровод­ность, вводя в материал примеси как n-, так и p-типа в концентра­циях, намного меньших, чем обычно. Более того, удалось осу­ществить р-n-переходы, что явилось огромным шагом вперед в технологии аморфных полупроводников, и открыть таким образом возможность использования их в солнечных батареях большой пло­щади.

Рис. 4. Схема изменения зон. а — перекрытие хвостов локализованных состояний, приводящее к исчезновению запрещённой зоны; б — запрещённая зона подвижностей ΔEμ.

3.1 Оптические свойства a-Si и a-Ge

В широком спектральном диа­пазоне, например от 0,5 до 1,5 эВ оптическое поглощение а-Si и а-Ge не очень сильно отличается от оптического поглощения в кри­сталлических материалах, однако не обладает структурой, свойст­венной последним. Крутой рост поглощения вблизи края полосы фундаментального поглощения германия начинается при меньшей энергии квантов, примерно при 0,55 эВ, коэффициент поглощения быстро растет до величины около 103 см-1 при 0,6 эВ и затем про­должает расти более медленно до величины примерно 105 см-1 при 1,5 эВ. Спектры отражения также сходны, однако отсутствуют пи­ки, связанные с критическими точками зонной структуры. Этого и следовало ожидать, так как зонная структура, характерная для кристаллических тел, не пригодна для описания аморфных.  

Во всех аморфных материалах длинноволновый хвост оптичес­кого поглощения имеет почти экспоненциальную форму. Поглощение тоже зависит от метода приготовления и почти наверняка обус­ловлено электронами, появляющимися из состояний в запрещен­ной зоне подвижностей.

Форма этого хвоста приблизительно подчиняется правилу, кото­рое называют правилом Урбаха. Правило гласит, что коэффи­циент поглощения α выражается формулой , где A, a и E0константы.

4. Другие элементарные аморфные полупроводники

Проводились эксперименты и с различными другими аморфными элементарными полупроводниками, в том числе с Se, Те и В. Из них только Те удалось очистить примерно до состояния, достигнутого для Si и Ge. Так как кристаллический Te сильно анизотропен и в кристаллическом состоянии имеет ярко выраженную c-ось, то он с трудом образует аморфные слои.

Но даже в этом случае удалось выполнить довольно подробное сравнение его аморфной и кристал­лической форм. Сложность приготовления аморфного Se заключается не только в его очистке, но и в том, что этот элемент существует в двух кристаллических разновидностях, моноклинной и триклинной, а также в смешанном состоянии. Из-за того, что этот материал получил широкое распространение в фотокопировальных машинах, он привлекает к себе значительное внимание. Его опти­ческое поглощение неоднократно измерялось, однако оно, по-ви­димому, очень сильно зависит от метода приготовления. Вероятно, спектральная кривая оптического поглощения аморфного Se лежит приблизительно между кривыми поглощения для двух его форм. Изучались также сплавы Se и Te.

Оптические свойства аморфных пленок Se и Te очень похожи на оптические свойства аморфных пленок Si и Ge, у них точно так же край полосы поглощения сдви­нут в сторону более низких частот по отношению к краю полосы поглощения в кристаллическом материале. Ситуация сильно ослож­няется из-за существования двух кристаллических форм Se и из-за различного поведения Те при облучении его светом, поляризован­ным параллельно или перпендикулярно оси с.

5.  Стеклообразные полупроводники