Для регистрации динамических процессов в образце используются кинокамеры. При условии дополнительных затрат их можно заменить на телевизионные камеры, а регистрацию изображения производить на магнитную ленту. К дальнейшим усовершенствованиям системы регистрации можно отнести усилители яркости. Последние особенно полезны для биологических исследований, в которых образцы более чувствительны к повреждениям, вызываемым интенсивным электронным облучением, чем при исследовании металлов.
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
Термин «растровый электронный микроскоп» (РЭМ) охватывает группу различных приборов, которые часто объединяются в одну конструктивную единицу. Построение изображения по точкам, изменение масштабов изображения радиотехническими методами и развертка в растр (сканирование) электронного пучка, зондирующего объект исследования, являются общими особенностями этих приборов. Различие между приборами определяется регистрируемым результатом взаимодействия электронов сканирующего пучка с веществом объекта. Природа и интенсивность результата регистрируемого взаимодействия непосредственно определяют вид получаемого изображения и, следовательно, характер информации, которую оно содержит.
РЭМ не является обычным электронным микроскопом, в котором изображение создается электронными линзами с помощью электронов, прошедших через объект. В РЭМ совершенно не используются электронно-оптические системы для образования и изменения масштабов изображения. В нем изображение строится по точкам; оно является результатом взаимодействия электронного пучка с поверхностью образца. Наблюдаемая область последовательно облучается перемещающимся электронным пучком микроскопа подобно сканированию в телевидении; соответствующее изображение синхронно и синфазно строится таким же образом. Электронные линзы тем не менее составляют важную часть электронно-оптической колонны РЭМ, но они используются для формирования электронного пучка — зонда (т. е. для проектирования уменьшенного изображения кончика нити катода на поверхность непрозрачного для электронов образца).
Принцип действия микроскопа растрового типа можно описать следующим образом (рис. 4). Пучок электромагнитного или корпускулярного излучения движется по поверхности образца вдоль близко расположенных друг к другу линий, образующих растр.
Фокусирующие системы уменьшают изображение источника излучения. В результате очень маленькое пятно освещения сканирует поверхность образца. Взаимодействие в той или иной форме (свет, электроны и т. д.) улавливается соответствующим устройством, сигнал от которого после усиления модулирует интенсивность пучка электронно-лучевой трубки.
Падающая волна взаимодействует с поверхностью образца, в результате чего она может быть поглощена, отражена, рассеяна назад, диспергирована или поляризована. В свою очередь образец сам может активизироваться и эмиттировать такое же или отличное от падающего излучение. Результат взаимодействия пучка — сигнал, пропорциональный степени проявления одного из перечисленных эффектов, улавливается подходящим чувствительным устройством и усиливается. Затем этот сигнал используется для модуляции записываемой интенсивности, например интенсивности электронного пучка катодно-лучевой трубки, который движется по ее экрану синхронно со сканирующим пучком микроскопа. Если поверхность образца имеет какие-либо свойства (например, изменения состава или топографии), которые вызывают поглощение, отражение; рассеяние назад, дисперсию, эмиссию или поляризацию, меняющиеся от точки к точке, то в регистрирующей системе, настроенной на соответствующий эффект, возникает изображение, которое представляет объект как бы видимым при «освещении» используемым излучением.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.