Разработка технологической инструкции на изготовление устройства, страница 5

2.3. Сушить подложки струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр “Фасто”.

2.4. Контролировать качество очистки 1 из 10 подложек из партии, для чего проверить подложку на смачиваемость в дистиллированной воде.

2.5. Записать результаты контроля в рабочий журнал.

2.6. Поместить подложки в тару для транспортировки-хранения, и передать подложки на следующую операцию.

Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:

Дистиллятор(ГОСТ 7165-66), вытяжной шкаф 2ШНЖ(ТУ 95.1028-73), фильтр “Фасто”(УЭ 7887-4165), установка для сушки сжатым воздухом, подогреватель растворов, пинцет 7814-0001(МН 500-60), тара для подложек(УЭ 7878-4229), кассета фторопластовая(УЭ 7893-4059), ванночка фторопластовая.

Материалы:

Спирт этиловый ректифицированный технический высшего сорта (ГОСТ 18300-72), синтетическое моющее средство Fairy, вода дистиллированная, мадаполам(ГОСТ 7138-73), подложка, напальчники(ГОСТ 14681-69).

6. Изготовление диэлектрического слоя из монооксида германия.

6.1.Изготовление обратной фоторезистивной маски.

6.1.1. Поместить подложку на столик центрифуги.

6.1.2. Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин).

6.1.3. Сушить фоторезистивную пленку в термостате при температуре 90º С в течении 15 мин.

6.1.4. Совместить пластину с фотошаблоном.

6.1.5. Экспонировать в течение 1 мин.

6.1.6. Проявлять в растворе 2% Na3PO4 и98% H2O до полного проявления, но не более 3 мин.

6.1.7. Смывать проточной дистиллированной  водой.

6.1.8. Проверить качество проявления под микроскопом, в случае необходимости допроявить.

Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-526, дистиллятор Д-4, микроскоп тип МБС-1 (ТУ3-3.201-71), полуавтомат нанесения фоторезиста ПНФ – тип “Корунд” (НТО 599.000), рамка экспонирования (УЭ 7893-4057), противень для подложек (УЭ 7878-4139), державка подложек (УЭ 7893-4060), установка совмещения и экспонирования ЭМ-526 (Я2М2.252.005ФО), установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-1, шкаф вытяжной 2ШНЖ (ТУ 95.7028-73), термометр ртутный стеклянный до 150°С (ГОСТ 9871-75), секундомер (ГОСТ 5072-72), пинцет 7814-0001 (МН 500-60), фотошаблон, тара для хранения и транспортировки (УЭ 7893-4411).

Материалы:

Спирт этиловый ректифицированный 1 сорт (ГОСТ 5962-67), фоторезист ФП9120 (ТУ 6-14-632-76), дистиллированная вода (ГОСТ 6709-72), Na3PO4 (ГОСТ 4328-77), вата (ГОСТ 10447-75), перчатки резиновые (ГОСТ 3-75), напальчники (ГОСТ 14681-69).

6.2. Ионоплазменное напыление слоя GeO.

6.2.1. Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по её эксплуатации.

6.2.2. Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.

6.2.3. Установить испаритель на позицию напыления. Для слоя монооксида германия–лодочка с сеткой.

6.2.4. Протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе.

6.2.5. Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.

6.2.6. Опустить колпак.

6.2.7. Откачать рабочую камеру до давления 5·10-5 мм.рт.ст. согласно инструкции по эксплуатации.

6.2.8. Произвести отжиг испарителя при максимальном токе в течение одной минуты.

Студить рабочую камеру в течение часа до Т = 80оС при открытом затворе.

6.2.9. Закрыть затвор, и студить до Т = 50оС, затем разгерметизировать и поднять колпак.

6.2.10. Поместить на испаритель монооксид германия. 

6.2.11. Подготовить подложкодержатель.

6.2.12. Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.

6.2.13. Установить датчик температуры на подложкодержтель.

6.2.14. Опустить колпак. Включить подачу холодной воды на колпак и произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.

6.2.15. Откачать воздух из камеры до давления (5±1)×10-5 мм. рт. ст.

6.2.16. Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 150±10°С.

6.2.17. Подать ток на молибденовый испаритель открыть заслонку, напылять монооксид германия, время напыления 2 мин., закрыть заслонку.

6.2.18. Выключить все источники питания напылительного блока.

6.2.19. Продолжать нагрев подложки в течении 10 мин., затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80ºС (при откачке на высокий вакуум).

6.2.20. Студить подколпачное устройство до Т=50ºС на подложке, закрыть затвор, разгерметизировать колпак.

6.2.21. Вынуть подложку, поместить её в специальную тару.

6.2.22. Проверить адгезию напыленного слоя.

6.2.23. Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по её эксплуатации.

Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:

Установка вакуумного напыления УВН-71р-3 (УРМ3.279.017), колба типа ПНШ 29250 (ГОСТ 10394-72), пинцет 7814-0001 (МН 500-60), потенциометр П8597-71, тара для подложек (УЭ 7878-4229), испаритель (УЭ 7893-7368), контрольный образец (УЭ 7893-4263), омметр (ГОСТ 4235-80).

Материалы:

Спирт этиловый ректифицированный технический высшего сорта (ГОСТ 18300-72),  батист отбеленный безворсированный 1402 1с (ГОСТ 8474-72), молибден ленточный для испарителя (ФЫПС 471.00.000 МК), монооксид германия, перчатки хирургические (ГОСТ 3-75), напальчники (ГОСТ 14681-69).

6.3. Травление обратной фоторезистивной маски.

6.3.1. Положить подложки в ванну с диметилформамидом на 12 часов.

6.3.2.  После того, как фоторезист набухнет промыть подложки  дистиллированной водой, остатки фоторезиста удалить используя вату.

6.3.3. Проверить качество травления под микроскопом.

6.3.4. Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить  1 мин, сушить в парах спирта.

Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:

Микроскоп тип МБС-1 (ТУ3-3.201-71), вытяжной шкаф ШНЖ (ТУ 95.7028-73), дистиллятор Д-4, секундомер (ГОСТ 5072-72), кассета для подложек (УЭ 7893-4411), фторопластовая ванна для травления (УЭ 5682-4694), пинцет 7814-0001 (МН 500-60), тара для подложек (УЭ 7878-4229).

Материалы:

Диметилформамид (ГОСТ 13765-76), спирт этиловый ректифицированный технический высшего сорта (ГОСТ 18300-72), вода дистиллированная (ГОСТ 6709-72), перчатки хирургические (ГОСТ 3-75), напальчники (ГОСТ 14681-69).