Вакуумна система іонно-плазмової технологічної установки

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ ТА НАУКИ УКРАЇНИ

Національний аерокосмічний університет ім. М.Є. Жуковського

«Харківський авіаційний інститут»

Кафедра двигунів і енергоустановок ЛА

Вакуумна система іонно-плазмової технологічної установки

РОЗРАХУНКОВО-ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до курсової роботи з дисципліни «Вакуумна та кріогенна техніка»

ХАІ.402.450.001.ПЗ.00.00

Виконав: студент гр.450

Андріянова О. І.

Консультант                  

Доцент каф. 402                                                                         Литовченко Л. В.

Нормоконтроль                                

Ст. викладач каф. 402Шепетов Ю.О.

2006
Реферат

Пояснювальна записка 28с., 4 малюнка, 4 табл., 2 джерела.

У цьому курсовому проекті проведено розрахунок вакуумної системи для іонно-плазмової установки для нанесення захисного покриття на лопатки турбін. В проекті визначаються геометричні параметри вакуумної камери, її суммарне газонатікання, провідності трубопроводів та розподіл тиску по довжині трубопровода. Здійснено вибір вакуумних насосів згідно з сумісністю їх роботи; визначається час встановлення режиму роботи вакуумної системи.

ВАКУУМ, ВАКУУМНА СИСТЕМА, ВАКУУМНИЙ НАСОС, КЛАПАН, ГАЗОНАТІКАННЯ, ТРУБОПРОВІД, ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНИЙ ВАКУУМНИЙ НAСОС, ФОРВАКУУМНИЙ НАСОС, ПРОВІДНІСТЬ.

Реферат

Пояснительная записка 28с., 4 рисунка, 4 таблицы, 2 источника.

В данном курсовом проекте проведен расчет вакуумной системы для ионно-плазменной установки для нанесения защитного покрытия на лопатки турбин. В работе определяются геометрические параметры вакуумной камеры, её суммарное газонатекание, проводимости трубопроводов и распределение давления по длине трубопровода. Проводится выбор вакуумных насосов из расчета совместимости работы; определяется время неустановившегося режима работы вакуумной системы.

ВАКУУМ, ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА, ВАКУУМНЫЙ НАСОС, КЛАПАН, ГАЗОНАТЕКАНИЕ, ТРУБОПРОВОД, ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НAСОС, ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС, ПРОВОДИМОСТЬ.

ABSTRACT

There are pages 28, drawings 4, sources 2 in the explanatory note.

This course project consist of accounts of (calculation) the vacuum system for ionik-plasma installation, which is used for the setting of protectiv covering on the turbines` blades. This project determines geometric parameters of vacuum chamber, its summarry gascovering, condustivity of pipe lines and distribution of pressure along the pipe line. It is carried out the selection of the vacuum pumps. From the accounts of compatibility of the project it is determined (we determine) the time of nosetting regime work of vacuum system.

VACUUM, VACUUM SYSTEM, VACUUM PUMP, VALVE, GASCOVERING, PIPE LINES, TURBO-MOLECULAR PUMP, FOREVACUUM PUMP, CONDUSTIVITY.

СОДЕРЖАНИЕ

Перечень сокращений, условных обозначений, символов, единиц и терминов. 6

Введение. 7

Задание. 8

1 Геометрия вакуумной установки. 9

1.1 Выбор схемы вакуумной установки. 9

1.2 Выбор геометрических параметров вакуумной камеры.. 9

2 Определение суммарного газонатекания. 11

3 Расчет установившегося режима откачки. 13

3.1 Выбор вакуумных насосов. 13

3.2 Определение расчетных характеристик первого участка вакуумной системы.. 14

3.3 Определение расчетных характеристик второго участка вакуумной системы.. 19

4 Расчет времени неустановившегося режима работы вакуумной установки. 26

Заключение. 27

Перечень ссылок. 28

Перечень сокращений, условных обозначений, символов, единиц и терминов

МРС – магнетронная распылительная система;

УАС — ускоритель с анодным слоем;

ВК – вакуумная камера;

ТМН – турбомолекулярный вакуумный насос;

ФН – форвакуумный насос;

Р – давление (Па);

Т – температура (К);

q – удельное газонатекание (торр·м³·с^-1·м^-2);

Q – газонатекание (м³/с);

V – объем вакуумной камеры (м³);

F – площадь вакуумной камеры (м²);

L – длина трубопровода (м);

D_вк – диаметр вакуумной камеры (м);

D_тр - диаметр трубопровода (м);

D_от - диаметр отверстия в вакуумной камере (м);

S – быстрота откачки насоса (м³/с);

К_и – коэффициент использования насоса;

U – проводимость трубопровода, отверстия, других элементов системы (м³/с).

Введение

Вакуумная техника – это наука, которая изучает физико–химические процессы в разреженных газах, вопросы получения, сохранения и измерения вакуума.

В некоторых случаях вакуум оказывается наилучшей средой для проведения технологических процессов, в других – более благоприятна специальная газовая атмосфера, часто даже сильно разреженная, создаваемая в откачиваемом объекте после предварительной откачки до высокого вакуума. Вакуумные технологические процессы нашли применение в самых разнообразных областях науки и техники.

Все разнообразные технологические процессы, осуществляемые в вакууме, требуют для их выполнения специального технологического оборудования – вакуумных машин и установок.

Задание