Вакуумна система іонно-плазмової технологічної установки, страница 6

;                                                                

.                                                        

Давление в конце первого участка(3.12):

,                                                                

.                               

Давление в начале второго участка . Проводимость трубопровода от ТМН до клапана:

;                                                         (3.21)

.                                                    

Эффективная быстрота откачки (3.11):

;                                                                

.                                                         

Давление в конце второго участка:

;                                                                

.                               

Давление в начале третьего участка .

Проводимость трубопровода третьего участка:

;                                                                 (3.22)

.                                                             

Эффективная быстрота откачки(3.11):

;                                                                

.                                                      

Давление в конце 3-го участка(3.12):

;                                                                 

.                                          

Давление в начале четвертого участка.

Проводимость трубопровода равна бесконечности.

Давление в конце четвертого участка(3.12):

;                                                                 

.                                         

Таблица 3.4 Распределение давлений по длине трубопровода на втором участке системы

Рисунок 3.4 График распределения давлений по длине трубопровода

3.4 Определение расчетных характеристик третьего участка вакуумной системы

Схема участка изображена на рис. 3.5.

Рисунок 3.5 - Схема третьего участка вакуумной системы.

4-й участок вакуумной системы представляет собой последовательно соединенные трубопроводы. Так как все трубопроводы имеют одинаковый внутренний радиус, для расчета за 4-й участок принимаем сплошной трубопровод длиной L₄.

Общая проводимость участка вакуумной системы от форвакуумного насоса TRYVAC100S до ВК:

                                                             ,                                 (3.23)

.

Определяются предварительные соотношения между проводимостями отдельных участков: U₁ = U₂ = U₃ = U₄ = U. Для последовательно соединенных элементов из выражения:

                                                                             (3.24)

тогда U = 4U₀₂ = 112 (л/с). Длины трубопроводов L₂ = 90 см, L₄ = 20 см.

Определяется режим течения газа по трубопроводу, по рабочему давлению вакуумного насоса  торр и диаметру входного патрубка насоса d_вх=4 см.

Отношение длины свободного пробега молекул газа к диаметру входного патрубка насоса .

Данное отношение 1.5>>0.005, что соответствует молекулярно-вязкостному режиму течения газа.

Учитывая, что диаметр входного патрубка насоса = 4 см, конструктивно принимаем , тогда проводимость при входе в насос равна бесконечности. Определяется проводимость на 4-м участке с поправкой на диаметр трубопровода:

                                      ,            (3.25)

где Р_ср=0.75·10^-2 торр.

.

Проводимость на втором участке равна

.

Проводимость клапана U₃ = 120 л/с [2].

Проводимость на входе в объект (характерный размер D=16,5 см) определяется зависимостью: