Вакуумна система іонно-плазмової технологічної установки, страница 3

где     Qг – газовыделение из конструкционных материалов,

Qн – натекание через оболочку камеры,

Qт – технологическое газонатекание.

Для приближенного определения суммарного газовыделения в вакуумной камере можно воспользоваться удельным газоотделением материалов и Qг определить как:

Qгqi·Si.                                                               (2.3)

          где     qi – удельное газовыделение материала;

                    Si – площадь материала.

Для определения Qн можно воспользоваться газопроницаемостью материалов (резина ИРП-2043, кварцевое стекло, газопроницаемостью стали пренебрегаем из-за ее малости) и Qн определяем как:

Qн=Σqпр i·Si·di·DP;                                                           (2.4)

где     qпр i – удельное газопроницаемость материала;

                    Si – площадь материала;

                    di – толщина данного материала;

DP – разница давлений, принимаем равной 1 атм.

Коэффициент удельного газовыделения материала стенок камеры стали Х18Н10Т: qст=6·10-9 (л·торр·см-2·с-1), газопроницаемость стали не учитываем из-за ее малости.

Коэффициенты удельного газовыделения и газопроницаемости материала уплотнения (резина ИРП-2043) равны qрез=1,8·10-8 (л·торр·см-2·с-1) и qпр рез=4·10-8 (л·торр·мм·см-2·с-1·атм-1) соответственно.

При расчете учитываем резиновые уплотнения существенного размера, т.е. уплотнения на крышках камеры, на фланцах плазменных ионных установок и фланцах смотровых окон.

Коэффициент удельного газовыделения и газопроницаемости материала смотровых окон (кварцевое стекло): qок=2.72·10-6 (л·торр·см-2·с-1) и qпр ок=3·10-12 (л·торр·мм·см-2·с-1·атм-1) соответственно.

Определим Qн:

.                           

Определим Qг:

    

Определим технологическое натекание газа. При установившемся режиме работы вакуумной установки в рабочем газе допускается 1% примесей других газов, значит:

;                                                             (2.5)

                                             

Определим суммарное газонатекание по формуле (2.1):

                            


3 Расчет установившегося режима откачки

3.1 Выбор вакуумных насосов

Для создания рабочего вакуума выбирается насос с коэффициентом использования = 0,5; рабочее давление=  торр, предельное давление =6×10-6 торр. Насос подбирается исходя из скорости откачки S1:

;                                                              (3.1)

                                                 

По быстроте откачки выбираем 4 турбомолекулярных насоса MAG 2000 СT [2].

Таблица 3.1 - Откачные характеристики турбомолекулярного насоса MAG 2000СT

рабочий диапазон давлений

10-9 – 10-3 торр

быстрота откачки

2000 л/с

предельное давление

10-9 торр

диаметр впускного патрубка

250 мм

диаметр выпускного патрубка

63 мм

рекомендуемый форвакуумный насос

DRYVAC100S

масса

62 кг

Для обеспечения работы четырех ТМН используем четыре форвакуумных насоса DRYVAC100S с быстротой откачки равной S=100 м3/ч=28л/с [2].                                                   


Таблица 3.2 - Откачные характеристики вакуумного насоса DRYVAC 501S

Рабочий диапазон

1 атм.

быстрота откачки

400 м3

предельное давление

10-4 торр

диаметр впускного патрубка

63 мм

диаметр выходного патрубка

40 мм

длина

866 мм

ширина

340 мм

высота

929 мм

масса

360 кг

3.2 Определение расчетных характеристик первого участка вакуумной системы

Рисунок 3.1 - Схема первого участка вакуумной системы

Система состоит из четырех каналов. В каждом канале используется один форвакуумный насос и один турбомолекулярный. Каналы идентичны, поэтому приведем расчет одного из каналов, приняв допущение, что на каждый насос приходится половина суммарного газонатекания.