Вакуумна система іонно-плазмової технологічної установки, страница 7

                                             ,                  (3.26)

 л/с.

Общая приводимость системы от откачиваемого объекта до вакуумного насоса определяется из выражения:

                                           .                (3.27)

                           .        

Коэффициент использования вакуумного насоса равен:

                                                      .                          (3.28)

Рассчитывается распределение давления по длине трубопровода. Эффективная быстрота откачки, по формуле:

,                                                      (3.29)

.                                                  

Предельное давление вакуумного насоса = 0.75·10^-2 торр.

Проводимость первого участка:

,                                                 (3.30)

.

Давление в конце первого участка:

                                               (3.31),

.

Давление в начале второго участка . Проводимость трубопровода от ВК до клапана:

,                                               (3.32)

.

Эффективная быстрота откачки:

,                                            (3.33)

.

Давление в конце второго участка:

,                                              (3.34)

.

Давление в начале третьего участка .

Проводимость трубопровода третьего участка:

,                                                                 (3.35)

.                                                      

Эффективная быстрота откачки:

,                                                      (3.36)

.

Давление в конце 3-го участка:

,                                              (3.37)

.

Давление в начале четвертого участка.

Проводимость трубопровода равна бесконечности.

Давление в конце четвертого участка:

.                                               (3.38)

.

Таблица 3.4 - Распределение давлений по длине трубопровода на третьем участке системы

Рисунок 3.4 - График распределения давлений по длине трубопровода на третьем участке системы.

4 Расчет времени неустановившегося режима работы вакуумной установки

Считаем, что течение газа по длине трубопровода происходит изотермически, т. е. pV=const.

Для высоковакуумных насосов при молекулярном режиме течения газа по трубопроводу, когда S_н=const, U=const и Q~0, время неустановившегося режима определяется по формуле:

                                                   ,                         (4.1)

где     P₁- давление в начале участка;

P₂- давление в конце участка.

Время неустановившегося режима на участке от насоса DRYVAC 100S до вакуумной камеры, от атмосферного давления до давления запуска турбомолекулярного насоса MAG 2000СT определим:

ч = 15с.

На участке от ТМН 2000СТ до вакуумной камеры при достижении рабочего давления при включении обоих насосов:

(сек).

Общее время достижения необходимого давления 15 сек, что удовлетворяет требованиям, следовательно насосы подобраны правильно.

Заключение

В курсовом проекте была рассчитана и сконструирована вакуумная система в соответствии с техническим заданием, подобраны материалы камеры и трубопроводов, определены геометрические параметры установки, подобраны вакуумные насосы, клапана, измерительная аппаратура, выполнен сборочный чертеж установки. Время выхода установки на рабочий режим составляет 15 секунд.

Перечень ссылок

1. Розанов Л.Н. «Вакуумная техника». Учебник для вузов. – М. Высшая школа.1982;

2. Vacuum components. Справочник. – Leybold Vacuum GmbH., Edition 97/98.