Глава 7 КАТОДЫ ИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ
7.1. Значение выбора катода
Для создания разряда в сильноточных ионных источниках требуются катоды, обеспечивающие ток от сотен до нескольких тысяч ампер. Выбор материала и геометрии таких катодов значительно влияет на многие важные свойства ионного источника, такие, как срок службы, время, необходимое для включения источника, стабильность работы, длительность импульса, подводимая мощность, плотность разрядной плазмы и температура электронов в разряде. Таким образом, очевидна необходимость понимания основных принципов работы катода газоразрядного ионного источника.
7.2. Теория термоэлектронной эмиссии в приближении свободных электронов
Явление термоэлектронной эмиссии многократно описывалось различными авторами [245, 158]. Однако представляется необходимым привести здесь хотя бы некоторые элементарные сведения из теории термоэмиссии.
Термоэлектронная эмиссия представляет собой «испарение» электронов с поверхности твердого тела. Считается, что в проводнике электроны проводимости находятся в плоской потенциальной яме глубиной W (рис. 7.1). Внутри нее электроны подчиняются распределению Ферми—Дирака, т. е. число электронов в единице объема фазового пространства (х, у, z, Рх, Pу, Pz) является функцией энергии
(7.1)
где h — постоянная Планка; εF— величина, называемая энергией Ферми, и
(7.2)
есть кинетическая энергия электрона массой m, который обладает импульсом с компонентами рх, ру, рz. Энергия Ферми определяется из условия нормировки: равенства интеграла по импульсу от функции распределения пространственной плотности электронов в проводнике.
Рис. 7.1. Изменение потенциальной энергии электрона вблизи поверхности металла согласно теории свободных электронов.
импульсу от функции распределения пространственной плотности электронов в проводнике.
При значениях плотности электронов, характерных для металлов и других проводников, справедливо соотношение εF>>kT вплоть до температуры плавления материала. В этом случае распределение Ферми имеет характерную границу (рис. 7.2): функция практически постоянна до энергии электронов порядка (εF—3kT) и затем быстро убывает, принимая значение при. Когда , спад становится чисто экспоненциальным, как и при классическом распределении Больцмана. Электроны в зоне проводимости имеют энергию, не превосходящую энергию Ферми, хотя это утверждение абсолютно справедливо лишь в пределе при ; когда распределение Ферми приобретает вид прямоугольника.
Энергия электрона, находящегося на верхнем из заполненных энергетических уровней (т. е. для которого справедливо ε= ε F), меньше энергии покоящегося электрона, находящегося вне металла, на величину, обозначаемую обычно eΦ и называемую работой выхода.
Предположим, что эмитирующая поверхность представляет собой плоскость, перпендикулярную оси г. Умножив выражение (7.1) на скорость , получим число частиц из единичного объема пространства импульсов, пересекающих каждую секунду единицу площади эмитирующей поверхности. Полагая,
Рис. 7.2. Функция Ферми—Дирака {1+ехр[(е—eF)/kT]}-1 для электронов в зоне проводимости.
что для электронов с большой составляющей скорости vz нет отражения от поверхности эмиттера внутрь, интегрируя умноженную на vz и заряд электрона е функцию распределения f(е) по импульсу, получим выражение для плотности тока эмиссии:
(7.3)
Где . При вычисление интеграла (7.3) приводит к уравнению Ричардсона для плотности тока:
(7.4)
где
(7.5)
есть универсальная константа, равная 1,2*106 А/(м2*К2), или 120 А/(см2*К2).
Для подтверждения справедливости соотношения (7.4) и определения значений констант А и φ величины плотности тока термоэмиссии измеряются в обширном диапазоне температур и наносятся на график (рис. 7.3). Линейность полученной зависимости означает, что cправедливо уравнение Ричардсона — Дэшмана, а наклон линии позволяет найти величину работы выхода еф. Однако значения коэффициента А, найденные экстраполяцией графической зависимости от 1/T к значению при 1/T=0, как правило, не совпадают с теоретической величиной 120 А/(см2*К2). Значения коэффициента А для некоторых материалов приведены в табл. 7.1.
Рис. 7.3. Графическое определение констант ф и А уравнения Ричардсона— Дэшмана.
Хотя величины коэффициента А отличаются от теоретического значения, на справедливость подхода указывает тот факт, что для чистых металлов значения А лежат в -пределах- 0,25—1,33 теоретического значения и существенно отличаются лишь для композитных поверхностей, к которым не применимы столь простые исходные предположения. Полезно упомянуть о допущениях, сделанных при выводе соотношений (7.4) и (7.5), хотя бы и без оценки их справедливости.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.