Система управления двухкоординатным прецизионным столиком «E-ProbeII»

Лабораторная работа  № …К

Система управления

двухкоординатным прецизионным столиком «E-ProbeII»

Руководство по эксплуатации

1. Введение

Настоящее руководство по эксплуатации предназначено для ознакомления с устройством Системы управления двухкоординатным прецизионным столиком «Е-РгоЬе II»(далее Система), ее техническими характеристиками и другими данными, необходимыми для ее правильной эксплуатации.

2. Назначение изделия

Система предназначена для прецизионного перемещения интегральных микроструктур и полупроводниковых приборов на подложке, в поле оптического микроскопа. Управление системой осуществляется либо от органов управления расположенных на передней панели, либо от внешнего пульта управления или от ПЭВМ через интерфейс RS-232.

Система поддерживает следующие режимы работы:

-  дискретное перемещение предметного стола с фиксированным шагом;

-  непрерывное перемещение предметного стола с заданной скоростью;

-  работа под управлением внешней программы от ПЭВМ.

3. Технические характеристики

Питание системы, сеть переменного тока:                                                                                                                   220В, 50 Гц.

Потребляемая мощность, не более:                                                     160 В А.

Габаритные размеры системы, мм, не более:                                     600 х 580 х 600

Диаметр рабочей площади предметного стола:                                100 мм

Максимальный ход предметного стола:                                                                                                            112x112 мм

Диапазон регулирования шага перемещения

предметного стола с дискретностью 0,005 мм:                                                                                                                    0,005 .. 59,995 мм

Диапазон регулирования скорости перемещения

предметного стола с дискретностью 0,1 мм/с:                                  0,1 .. 12,7 мм/с

Система    предназначена    для    размещения    закрытом    помещении    и рассчитана на эксплуатацию при температурах от +10°С до +30°С.

4. Описание изделия

Внешний вид системы показан на рис.1. На передней панели системы расположены: кнопка включения/выключения питания системы (1); курсорные клавиши (2) для оперативного управления движением предметного стола в режимах непрерывного и пошагового перемещений; потенциометры установки скорости перемещения предметного стола (3) и яркости лампы осветителя микроскопа (4); клавиатура (5) и ЖК индикатор (6), предназначенные для выбора режимов работы системы, установки и отображения, текущих параметров системы.

ВНИМАНИЕ! Запрещается отключать систему от питающей сети в рабочем режиме.

Для отключения питания необходимо перевести систему в «спящий» режим.

Для начала работы с системой нажмите на кнопку «ПИТАНИЕ» в левом нижнем углу передней панели.

Включатся подсветка дисплея, лампа осветителя микроскопа и на экране индикатора появиться следующее окно:

Скорость =	W.	v мм/	с
X =  ххх	.XXX	мм
Y =  ууу	.ууу	мм

После включения питания система переходит в режим непрерывного перемещения (см. п.5.3) и восстанавливает текущие координаты положения предметного стола, сохранненые при последнем выключении системы.

Для окончания работы с системой и отключения питания нажмите на кнопку «ПИТАНИЕ». На индикаторе появиться следующий запрос:

Закончить	работу?
ДА-ENTER	HET-ESC
X =  ххх.	XXX ММ
Y =  ууу.	ууу мм

Для подтверждения окончания работы нажмите на клавиатуре кнопку «ENTER», после чего система сохранит все текущие рабочие параметры и перейдет в «спящий» режим. Для отмены выключения системы и продолжения работы - нажмите кнопку «ESC».

5.2. Изменение режимов работы системы.

Для выбора текущего режима работы системы используются кнопки «F1», «F2» и «F3».

Кнопка «F1» переводит систему в режим непрерывного перемещения (см. п.5.3), кнопка «F2» переводит систему в режим пошагового перемещения (см. п.5.4), и кнопка «F3» переводит систему в режим внешнего управления через последовательный интерфейс RS-232 (см. п.5.5).

Для перехода из одного режима работы в другой, достаточно однократно нажать на кнопку, соответствующую необходимому режиму.

5.3. Режим непрерывного перемещения.

После   перехода   в   данный   режим   на   экране   индикатора   появиться следующее окно:

Скорость =	W.V	мм/с
X =     ххх.	XXX   К	ос
Y  =     ууу.	УУУ 1	ш

В верхней части индикатора отображается текущая скорость перемещения, а в нижней части текущие координаты положения предметного стола.

Управления перемещение предметного стола осуществляется курсорными клашами расположенными в левой части передней панели системы. Для начала движения необходимо нажать и удерживать клавишу требуемого направления. После отжатия клавиши движение в данном направлении прекращается.

Для плавного изменения скорости перемещения с дискретностью 0.1 мм/с, используется потенциометр «СКОРОСТЬ», расположенный в верхней центральной части передней панели системы. Регулировку скорости можно проводить во время текущего перемещения предметного стола, без его остановки.

5.4. Режим пошагового перемещения.

После   перехода   в   данный   режим   на   экране   индикатора   появиться следующее окно:

Шаг	X	= XX.XXX ММ
Шаг	Y	= УУ-УУУ мм
X =		XXX.XXX ММ
Y =		УУУ-УУУ мм

В верхней части индикатора отображается значения текущих шагов перемещения по каждой из координат, а в нижней части текущие координаты положения предметного стола.

Управления перемещение предметного стола осуществляется курсорными клашами расположенными в левой части передней панели системы. Для выполнения шага необходимо однократно нажать на клавишу требуемого направления.

Для изменения значений шагов перемещения необходимо нажать кнопку «ENTER». Под старшим знаком шага по оси X появиться курсор. Введите требуемое значение шага и нажмите кнопку «ENTER». Кусор появиться под старшим знаком шага по оси Y. Введите требуемое значение шага и нажмите кнопку «ENTER». Установленные новые значения сохраняются и становятся текущими для последующих пошаговых перемещений.

Для отмены изменений значений шагов перемещений до их сохранения, нажмите кнопку «ESC». Система отменит ввод новых значений и восстановит ранее установленные.

5.5. Режим внешнего управления.

После перехода в данный режим на экране индикатора появиться окно, на котором отображается название режима и текущие координаты положения предметного стола:

Внешнее управление

X =   XXX.XXX ММ

Y =  ууу.ууу мм