Расчет резистивного нагревательного устройства

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

(Технический университет)

Домашние задание 1

« Расчет резистивного нагревательного устройства »

ПО КУРСУ:

«Расчет и проектирование нагревательных устройств и газовых систем оборудования»

Выполнил:

                            группа ЭТМО-53а

Проверил: Самойликов В.К.

Москва 2005

Задание.

В рабочей камере диффузионной окислительной  печи производится термическая обработка (при температуре ) n подложек диаметром dпл, размещаемых на кварцевом подложкодержателе.

Выполнить тепловой расчет термического модуля печи и определить:

-  конструктивные размеры печи;

-  температуру печи;

-  температуру нагревателя;

-  температуру газа-носителя на выходе из печи;

-  установленную мощность печи;

Построить также графики кинетики разогрева печи и изделий.

Предложены следующие данные:

     1 Производительность                                                                       n=100

     2 Диаметр обрабатываемых подложек                                             D_пл =200 мм

     3 Шаг между подложками                                                                 s=10 мм

     4 Температура обработки подложек                                                 =1100°С

     5 Температура загрузки подложек                                                   =600°С

     6 Температура окончания 1-го этапа нагрева                                 =950°С

     7 Температура коха печи                                                                   tкох=60°С

     8 Температура окружающей среды                                                   tок=25°С