Расчет инфракрасного нагревательного устройства

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

ДОМАШНЕЕ ЗАДАНИЕ №3

Тема: РАСЧЕТ ИНФРАКРАСНОГО НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА.

Выполнил: студент группы ЭТМО-53а

Преподаватель: Самойликов В.К.

Москва 2005

В кварцевой реакционной камере производится термическая обработка подложек, размещаемых на вращающемся подложкодержателе, изготовленном из графита. Для нагрева последнего используется инфракрасный метод.

Выполнить:

1.  Привести расчетные схемы,

2.  Расчет облученности и температуры поверхности подложкодержателя,

3.  Построить графики распределения облученности и температуры по поверхности подложкодержателя.

Данные для расчета:

Диаметр подложкодержателя:                                                    D=235 мм,

Расстояние между панелями:                                                      М=420 мм,

Расстояние между лампами противоположных панелей:        А=400 мм,

Расстояние от линии до оси первой лампы:                              l₀=70 мм,

Расстояние до центровой линии:                                                h₀=90 мм,

Шаг расположения ламп (ГЛН):                                                 k=35,

Общее количество ГЛН в печи:                                                  j_Σ=36 шт,

Количество ГЛН в верхней зоне:                                                j_в=2 шт,

Количество ГЛН в нижней зоне:                                                 j_н=2 шт,

Мощность ГЛН верхней зоны:                                                    Р_в=4000 Вт,

Мощность ГЛН центральной зоны:                                            Р_ц=2000 Вт,

Мощность ГЛН нижней зоны:                                                     Р_н=5000 Вт,

Количество кольцевых зон подложкодержателя:                      i_Σ=60,

Ширина кольцевых зон подложкодержателя:                            h=6 мм,