9 Газ-носитель (ГН) воздух
10 Температура ГН на входе в печь tг=25°С
11 Излучательная способность материала стен печи e=0,65
12 Время выдержки подложек tв=60 мин
13 Время отсасывания печи tо=40 мин
14 Время простоя печи tпр=30 мин
При проведении расчетов использовать следующие дополнительные сведения:
- толщина подложек (dпл) может быть выбрана из следующего соотношения dпл»0,004 Dпл;
- излучательная способность материала подложек eпл=0,70;
- плотность материала подложек r=2330 кг/м3;
- удельная теплоемкость материала подложек Сsi»2000 Дж/кг×К;
- удельная теплоемкость материала подложкодержателя СПД»2400 Дж/кг×К;
- средняя удельная теплоемкость газа-носителя Сp(воздуха)»1050 Дж/кг×К;
- теплопроводность воздуха при нормальных условиях l=0,026 Вт/м×К.
Теплофизические свойства конструкционных и обрабатываемых материалов:
Кремний |
Кварц |
Воздух |
Теплоизо- ляция |
Нагрева- тель |
|||
Плотность |
r |
кг/м2 |
2300 |
2655 |
1,29 |
200 |
7750 |
Теплоем- кость |
Ср |
Дж/кг град |
2000 |
1560 |
1050 |
1100 |
600 |
Теплопро- водность |
l |
Вт/м град |
25 |
2,5 |
0,05 |
0,058+ +0,19.10-3tср |
27 |
Кинемати- ческая вяз- кость |
n |
м2/с |
- |
- |
14,6.10-6 |
- |
- |
Уд. эл. соп- ротивление |
r |
Ом.м |
- |
- |
- |
- |
1,35 |
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.