Контроль и исследование точности электрических параметров толстопленочных элементов в процессе конструкторско-технологической отработки микросборок, страница 3

Выводы:

-  Контроль сопротивления резистора в зависимости от  размера квадрата

В ходе анализа графика зависимости сопротивления квадрата пленки от величины его стороны было выявлено, что сопротивление не меняется с увеличением размеров резисторов в определенном диапазоне, который определяется используемым материалом. Это может быть объяснено следующим:

Величина сопротивления прямопропорциональна произведению удельного электрического сопротивления на длину резистивного слоя и обратно пропорциональна площади поперечного сечения – . Для расчета сопротивления тонких пленок пользуются понятием удельного поверхностного сопротивления r_s, под которым понимается сопротивление тонкой пленки, имеющей в плане форму квадрата – . Тогда , а так же в случае  получаем .

-  Контроль сопротивления ТЛР с различный коэффициент формы

В ходе работы была выявлена прямопропорциональная зависимость между сопротивлением и коэффициентом формы – R= (при увеличении  увеличивается сопротивление). Это можно объяснить, основываясь на определении коэффициента формы – =l/b, следовательно, чем длиннее резистор, тем больше его сопротивлении, и, соответственно, чем он шире, тем сопротивление меньше. Последние утверждения подтверждены графиками.

-  Контроль сопротивления ТЛР в зависимости от расположения резисторов относительно движения ракеля

В результате анализа данных, полученных экспериментально, было выявлено, что величина разброса сопротивления резисторов не зависит от направления движения ракеля.

Так же в ходе эксперимента было замечено значительное рассеяние сопротивлений из ПТР-100к, но не было выявлено взаимосвязи с направлением движения ракеля. Причиной этому может служить:

-  Неравномерность скорости перемещения и давления ракеля

-  Неравномерность зазора между сетчатым трафаретом и  подложкой

-  Неравномерность натяжения трафарета и свойств пасты

-  Несоблюдение параллельности платы, трафарета и направления движения ракеля

Основываясь на этом, существуют рекомендации для  устранения неравномерности  толщины  резисторов. Рекомендуется составлять топологию так, чтобы  все  резисторы  по длине располагались в одном направлении  по движению  ракеля.  По этой же причине не рекомендуется проектировать  длинные  и  узкие или короткие и широкие резисторы, т.к. при использовании одной  и той же пасты короткие резисторы имеют большую  толщину  пленки, а, следовательно, меньшее удельное сопротивление, чем  длинные,  из-за разных прогибов открытых участков сетчатого трафарета.

-  Контроль распределения сопротивления по керамической подложке

Анализ значений сопротивления при различных геометрических параметрах показал, что разброс значений сопротивления по керамической подложке подчиняется нормальному закону распределения (критерий c²). Опираясь на значения математического ожидания и среднеквадратического отклонения, можно утверждать, что наибольшей воспроизводимостью (минимальное значение среднеквадратического отклонения)  обладает резистор с оптимальным соотношением сторон (L=B=3 в  данном эксперименте).

-  Аддитивная составляющая ошибки, вносимая сопротивлением проводов и измерительных щупов была устранена внесением поправки в результат измерения