Лабораторная работа №6
Тестовый контроль параметров элементов толстопленочных микросборок.
Принял: Выполнил:
Жаркой М.Ф. Студент группы н261
Медведев В.А.
Цель работы – проконтролировать и исследовать точность электрических параметров толстопленочных элементов в процессе конструкторско-технологической отработки микросборок.
Объекты контроля:
Набор тестовых схем, представляющих собой обобщенные аналоги МСБ и содержащие специальные структуры, предназначенные для получения параметров качества ТП и МСБ. Такие схемы содержат все конструктивные элементы реальной МСБ и изготовляются по тому же технологическому маршруту.
Экспериментальные данные:
1. Исследование зависимости сопротивления ТЛР квадратной формы (сопротивление квадрата пленки) от размеров резистора, типа и RОн
Паста |
Номер тест-платы |
RОн, Ом/ |
Раз-ность |
Сопротивление резистора квадратной формы с l=b, мм |
||||||
5.5 |
4 |
3.5 |
3 |
2 |
1.25 |
0.75 |
||||
R1 |
R2 |
R3 |
R4 |
R5 |
R6 |
R7 |
||||
ПТР-50 |
1 |
50 |
Ом |
43.4 |
41.9 |
41.9 |
41.4 |
38.4 |
25.5 |
57 |
ПТР-1к |
2 |
1000 |
Ом |
766.6 |
901.9 |
802.2 |
824.6 |
836.6 |
449.7 |
267.8 |
ПТР-10к |
3 |
10000 |
кОм |
6.48 |
5.66 |
5.39 |
5.38 |
4.75 |
3.34 |
1.63 |
ПТР-30к |
4 |
30000 |
кОм |
60.8 |
58.4 |
57.6 |
49.5 |
56.03 |
28.85 |
14.09 |
ПТР-100к |
5 |
100000 |
кОм |
156.8 |
144.6 |
160.1 |
137.8 |
225.9 |
110 |
78.3 |
ПТР-20к |
6 |
20000 |
кОм |
32.05 |
27.46 |
26.2 |
26.67 |
24.96 |
22.23 |
9.15 |
Боридная |
7 |
10000 |
кОм |
20.71 |
19.34 |
17.26 |
19.4 |
16.32 |
25.32 |
19.1 |
Полимерная |
8 |
100 |
Ом |
291.4 |
245.6 |
256.3 |
248.8 |
255 |
227.7 |
118.2 |
2. Исследование зависимости сопротивления ТЛР в зависимости от коэффициента формы Кф, номинального сопротивления RОн паст.
Паста |
Номер тест-платы |
RОн, Ом/ |
Размерность |
R1 |
R2 |
R3 |
R4 |
R5 |
R6 |
R7 |
R8 |
l, мм |
|||||||||||
0.3 |
0.5 |
1 |
3 |
5 |
8 |
9.5 |
12 |
||||
b, мм |
|||||||||||
10 |
7 |
4 |
3 |
2.5 |
1.7 |
1 |
0.4 |
||||
Кф |
|||||||||||
0,03 |
0,07 |
0,25 |
1 |
2 |
4,5 |
9,5 |
30 |
||||
ПТР-50 |
9 |
50 |
Ом |
2,2 |
5,73 |
13,83 |
61,32 |
112 |
214,9 |
578 |
1650 |
ПТР-10к 10 |
10 |
10000 |
кОм |
0,6503 |
1,84 |
4,11 |
11,18 |
23,62 |
49,2 |
103,4 |
319,2 |
ПТР-30к 11 |
11 |
30000 |
кОм |
1,34 |
3,87 |
8,26 |
41,78 |
92,39 |
189,1 |
361,4 |
1590 |
ПТР-100к |
12 |
100000 |
кОм |
25,34 |
57,08 |
121,3 |
317,2 |
621,1 |
1289 |
2340 |
5960 |
ПР-20к |
13 |
20000 |
кОм |
1,15 |
3,18 |
8,09 |
25,93 |
59,5 |
140,3 |
269,7 |
792,9 |
Боридная |
14 |
10000 |
Ом |
61,1 |
145 |
325,4 |
1144 |
2490 |
5750 |
11510 |
29390 |
Полимерная |
15 |
100 |
Ом |
9,4 |
24,3 |
61,3 |
213,9 |
452 |
990 |
1960 |
7409 |
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.