Контроль и исследование точности электрических параметров толстопленочных элементов в процессе конструкторско-технологической отработки микросборок, страница 2

3. Исследование корреляционных связей между сопротивлениями ТЛР С различными значениями коэффициента формы К_ф.

Номер R_i	l, мм	B, мм	К_ф	R (кОм), измеренное на тест-платах
Номер R_i	l, мм	B, мм	К_ф	16	17	18	19	20	21	22	23	24	25
R1	6	1	6	137.5	133.6	115.6	142.3	142.8	126.6	179.7	131.3	139.5	162.2
R2	4	1	4	106.6	89.1	92.3	106.9	99.8	89.8	122.6	90.6	101.9	107.0
R3	2	1	2	61.1	51.1	55.28	68.5	60.24	49.38	69.1	51.74	50.64	65.37
R4	1	2	0.5	20.79	12.5	13.47	20.08	17.04	12.38	20.45	12.95	12.54	18.77
R5	1	4	0.25	10.68	6.18	6.68	9.72	8.77	6.34	11.01	5.72	5.91	9.72

4. Исследование зависимости R от расположения резисторов относительно движения ракеля.

Плата	Номер тест-платы	Размер-ность	Резисторы параллельны направлению движения ракеля				Резисторы перпендикулярны направлению движения ракиля				R_cp, Ом	s₀, Ом
Плата	Номер тест-платы	Размер-ность	R1	R2	R3	R4	R5	R6	R7	R8	R_cp, Ом	s₀, Ом
ПТР-50	26	Ом	200.9	175.1	184.3	185.3	183.8	187.5	184.9	180.8	185,325	7,33
ПТР-1к	27	кОм	3.53	3.22	3.35	3.32	3.25	3.31	3.13	3.17	3,28	0,125
ПТР100к	28	кОм	597.5	521.2	619.7	525.2	537.2	441.6	491.7	495.4	528,69	57,59

5. Исследование разброса сопротивления ТЛР по подложке в зависимости от размеров резисторов.

Номер типоразмера R	l=b, мм	Сопротивление R_ij резистора квадратной формы,i,j – номера горизонтальных и вертикадьных рядов																				R_cp, Ом	s₀, Ом
Номер типоразмера R	l=b, мм	R₁₁	R₁₂	R₁₃	R₁₄	R₁₅	R₂₁	R₂₂	R₂₃	R₂₄	R₂₅	R₃₁	R₃₂	R₃₃	R₃₄	R₃₅	R₄₁	R₄₂	R₄₃	R₄₄	R₄₅	R_cp, Ом	s₀, Ом
1	4	952.9	941.5	1070	1151	1168	1055	1050	1033	1049	1011	1014	733.6	686	860.1	819.5	934.2	815	949.7	1003	1120	970,825	132,01
2	3	947.9	980	1051	1052	1196	1014	854.1	890.3	940.6	920.8	866.1	828.7	855.8	941.4	823.5	928.1	976	982.2	1038	1065	957,575	94,18
3	2	851.2	1017	1028	1076	1088	945.3	839.6	825.8	940.8	943.7	964.7	769.6	862.8	951	933.6	915.3	975.8	1081	1108	1127	962,21	101,56
4	1	925.3	902	926	940.5	1389	913.8	956.6	1055	856.2	836.3	846.9	850.5	825.5	853.6	846	851.2	825.7	888.4	828.8	1109	921,315	133,59
5	0.75	881.7	849	939.5	968.1	-	858.5	854.5	938.8	964.8	718	943.3	805.3	754.6	877.2	890.6	914.3	850.4	1184	885.1	1030	855,385	99,14
6	0.5	1240	886.9	969.1	928.1	1017	941.9	849.8	671.5	781.3	725.9	831.1	765	785	745.4	721	930.7	846.5	915.2	790.3	871.3	860,65	128,55
7	b=0.5 l=3	5910	5710	6270	5930	5902	6009	5930	6166	5600	5045	5650	4516	5360	5320	5274	5772	5162	5632	6067	6258	5674,15	449,86

1 2 3