Розробка комплекту технологічної документації до процесу фотолітографії

4 Розробка комплекту технологічної документації до процесу фотолітографії.

Кожен новий розроблений технологічний процес має відповідати вимогам, вказаним у робочих кресленнях і технічних умовах на напівпровідниковий прилад або інтегральну мі­кросхему.

Єдина побудова технологічної документації дає можливість швидко її використову­вати на різних підприємствах без якої-небудь переробки, не вимагаючи перенавчання пер­соналу. Технологічна документація визначається і регламентується єдиною системою тех­нологічної документації (ЄСТД). Вона є комплексом державних стандартів, що встановлю­ють правила і положення про порядок розробки, побудови і оформлення усієї технологічної документації, що застосовується у приладобудуванні. Така система дає можливість взаємообміну технологічними документами між підприємствами без їх переоформлення, покращує стабільність комплектності документів, а також виключає повторну розробку і ви­пуск додаткових документів.

Стандартизація позначень та уніфікація послідовності розміщення однорідної інфо­рмації у формах технологічної документації на різні види робіт дозволяє використовувати обчислювальну техніку для керування виробництвом.

Розробка технологічної документації на стадії «попередній проект» робиться з при­своєння літери «П» і відповідає стадіями розробки КД «ескізний проект».

До технологічних документів відносять графічні текстові документи, які окремо або у сукупності визначають технологічний процес виготовлення напівпровідникових при­ладів або інтегральних мікросхем, комплектацію деталей, складальних одиниць, матеріа­лів, оснастки, технологічних документів та маршрут проходження виготовляємого приладу по служба підприємства.

Комплект технологічної документації включає цілий ряд основних видів документів, що описує виробничий процес виготовлення приладів. До таких документів відносяться: маршрутна карга (МК), карта ескізів (КЕ), технологічна інструкція (ТІ), комплектуюча карта (КК), відомість розцеховки (ВР), відомість оснастки (ВО), відомість матеріалів (ВМ), відомість деталей до типового технологічного процесу (ВТП), карта типового технологічного процесу (КТТП), операційна карта (ОК), відомість операцій (ВОП).

Маршрутна карта представляє собою технологічний документ, що має описання техноло­гічного процесу виготовлення конкретного типу приладу або інтегральної мікросхеми. Вона дозволяє судити про контроль і переміщення виготовляємого приладу по всіх операціях у визначеній послідовності зі вказанням даних про устаткування, оснастку, матеріальні та трудові нормативи. Ця карта є обов'язковим документом для описання будь-яких теноло­гічних процесів. Маршрутна карта іноді розроблюється не на весь технологічний процес, а на його окремі етапи.

Карта ескізів складається з ескізів, схем, таблиць, що необхідні для виконання тех­нологічного процесу, операції або етапу.

Технологічна інструкція має описання прийомів роботи або технологічних процесів виготовлення приладу, правила експлуатації елементів технічного оснащення, описання фізичних і хімічних явищ, що виникають при окремих операціях.

Комплектуюча карта має дані про деталі, збірні одиниці та матеріали, що входять у комплект приладу, що збирається.

Відомість розцеховки має дані про маршрут приладу, що виготовляється по служ­бам підприємства.

Відомість оснастки має перелік технологічної оснастки, що необхідна для виконання даного технологічного процесу або операції.

Відомість матеріалів має дані про заготовку, норму розходів матеріалів, маршрут виготовляємого приладу і його складових частин.                                                                        

Відомість деталей до типового технологічного процесу має перелік деталей та збір­них одиниць, що виготовляються по типовому технологічному процесу зі вказанням відпо­відних даних про трудові нормативи.

Відомість технологічних документів визначає їх склад і комплектність,

Карта технологічного процесу являє собою документ в який входить описанні техно­логічного процесу виготовлення приладу, вказані засоби контролю і переміщення по всіх операціях одного виду робіт, що виконуються в одному цеху. В карті вказані засоби техно­логічного оснащення, матеріальні та трудові нормативи.

Карта типового технологічного процесу відрізняється від попередньої карти тим, що має описання типового технологічного процесу.

Операційна карта являє собою технологічний документ, що має опис технологічної операції зі вказанням режимів виготовлення приладу та засобах технологічного оснащення.

Операційна карта типово відрізняється від попередньої карти тим, що має описання типового процесу виготовлення приладу.

Відомість операцій включає в себе перелік і описання усіх операцій технічного контро­лю, що виконуються в одному цеху в технологічній послідовності зі вказанням даних про устаткування, оснастку і контролюємі параметри.

Усі карти, що були зазначені, інструкції та відомості оформлюються по визначено­му правилу. Так, наприклад, при оформленні маршрутних карт в них послідовно відобра­жаються наступні графи: найменування і марка матеріалу; код одиниці маси деталей кіль­кість деталей; норма розходу матеріалів; номер цеха, в якому виконується операція, номер операції в технологічному процесі виготовлення приладу; назва і зміст операції; об'єм партії приладів. В комплектуючі карти включають: номер робочого місця, номер операції, номер позиції, позначення деталі, збірної одиниці, кількість деталей, норма розходу матері­алів, разова подача деталей, загальна подача на зміну, такт подачі. При оформлені відо­мості оснастки в неї вносять: номер операції по маршрутній карті, назву приладу і до­поміжного інструменту, кількість приладів, назву вимірюю чого інструменту, кількість ви­мірюючого інструменту.

Розробка комплекту технологічної документації процесу фотолітографії наведено у додатку A.