3. Визначення послідовності операцій процесу фотолітографії
Процес фотолітографії відноситься до найбільш важливих процесів у виробництві напівпровідникових приладів.
Фотолітографія складається з ряду операцій, зображених на рисунку 6 Призначення і послідовність операцій фотолітографії є загальними для будь-якого напівпровідникового приладу.
Технологія фотолітографії починається з підготовки оброблюємої поверхні кремнієвої пластини спиртом високої чистоти та осушення в печі, нагрітої до температури 750±50°С на протязі 15-20 хв. Ця підготовка повинна забезпечити високу чистоту та осушеність поверхні. Крім того підготовка поверхні забезпечує якісне нанесення фоторезистивного покриття, його добру адгезію до окисного шару і, відповідно стійкість до дії агресивних середовищ.
Після підготовки поверхні кремнієвих пластин операція нанесення фоторезистивного покриття - одна з основних операцій фотолітографічного процесу. Фоторезист ФП-383 наноситься на пластину методом центрифугування. Після чого пластини з нанесеним фоторезистом сушаться спочатку на повітрі, а потім на установці сушки на протязі 25-40 хв.
Наступною стадією формування захисного рельєфу є суміщення фотошаблону з підкладкою та експонування.
Після експонування відбувається проявлення засвічених ділянок фоторезисту: зони вимиваються проявником. Після ретельної промивки підкладок з фоторезистивним рельєфом вони підсушуються на центрифузі, а потім у термостаті при температурі 10оС на протязі 10-15 хв. Потім проводиться високотемпературна термообробка фотошару - кінцеве видалення проявника, покращення адгезії фото резистивного рельєфу і його кислотостійкості. Після високотемпературної обробки відбувається контроль якості фоторезистивної плівки на предмет відшарувань.
Відтворене фоторезистивною плівкою зображення переноситься на підкладку методом хімічного травлення - заключна стадія фотлітографії.
Після травлення відбувається очистка підкладок, зняття фоторезиста та контрольні операції.
Рисунок 6 – Структурна схема процесу фотолітографії
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.
