1. Техніко-економічна характеристика дільниці
Виробнича програма (план виробництва та реалізацій продукції) це система адресних завдань з виробництва та реалізації продукції споживачем в установленій номенклатурі, асортименті якості та термінами постачання згідно з договорами поставок.
Виробнича програма включає показники обсягу виробництва продукції в натуральному і вартісному виразі. Номенклатура – це перелік різних видів продукції. Асортимент – це різновидність виробів в межах даної номенклатури.
Виходячи з попиту споживачів з урахуванням матеріально-технічного забезпечення сировиною та іншими видами ресурсів річний обсяг випуску тиристорів типу Т165 планується в кількості штук.
1.1 Визначення різновидів основного та допоміжного технологічного устаткування.
Характеристика основного та допоміжного технологічного устаткування для проведення операцій на дільниці фотолітографії при виготовленні структур типу Т 165 представлена в таблиці 1.
Таблиця 1 – Назва та характеристика обладнання
| Найменування обладнання | Потужність | Розмір,мм | Вартість,грн. | 
| Установка підготовки | |||
| Установка нанесення фоторезисту | |||
| Шафа сушильна | |||
| Установка експонування | |||
| Мікроскоп стереоскопічний | |||
| Установка хімобробки | |||
| Піч конвеєрна терморадіаційна | |||
| Установка контролю | |||
| Бокс травильний | |||
| Установка фінішної очистки деіонізованої води | |||
| Шафа для зберігання агресивних рідин | |||
| Вимірювач питомого опору цифровий | 
1.2 Основні види виробничих процесів
Основні виробничі операції технологічного процесу фотолітографії при виготовлені структур тиристора типу Т165 представлена в таблиці 2.
Таблиця 2 – Основні виробничі операції
| Найменування операції | Норма часу, год | Розряд робітників | Годинна тарифна ставка | 
| 1. Підготовка | 0,007 | 4 | 8,17 | 
| 2. Нанесення ФП-383 | 0,082 | 5 | 9,87 | 
| 3. Низькотемпературна обробка | 0,010 | 3 | 7,83 | 
| 4. Експонування 1 | 0,105 | 5 | 9,87 | 
| 5. Проявлення 1 | 0,062 | 5 | 9,87 | 
| 6. Високотемпературна обробка 1 | 0,010 | 3 | 7,83 | 
| 7. Контроль 1 | 0,033 | 5 | 9,87 | 
| 8. Захисна обробка сторін | 0,104 | 4 | 8,17 | 
| 9. Селективне травлення | 0,033 | 5 | 9,87 | 
| 10. Зняття в плазмі | 0,127 | 5 | 9,87 | 
| 11. Нанесення фоторезисту | 0,098 | 5 | 9,87 | 
| 12. Низькотемпературна обробка 2 | 0,010 | 3 | 7,83 | 
| 13. Експонування 2 | 0,268 | 5 | 9,87 | 
| 14. Проявлення 2 | 0,033 | 5 | 9,87 | 
| 15. Високотемпературна обробка 2 | 0,010 | 3 | 7,83 | 
| 16. Контроль 2 | 0,033 | 5 | 9,87 | 
| 17. Ретушировка | 0,026 | 5 | 9,87 | 
| 18. Травлення мези | 0,500 | 5 | 9,87 | 
| 19. Зняття фоторезисту | 0,033 | 5 | 9,87 | 
| 20. Контроль 3 | 0,039 | 5 | 9,87 | 
| Всього: | 1,623 | 
3. Розрахунок тиристора Т 165
Розрахунок тиристора передбачає наступну послідовність:
- розрахунок питомого опору вихідного кремнію;
- розрахунок параметрів p-n-p-n структур;
Вихідні дані для розрахунку тиристора Т 165 наведені в таблиці 3
Таблиця 3 – Вихідні дані для розрахунку
| № | Назва та позначання параметра | Величина | 
| 1. | Імпульсна напруга, що повторюється, UDRM ,B | 1500 | 
| 2. | Глибина залягання p-n переходу j1, Xj1,мкм | 76 | 
| 3. | Глибина залягання p-n переходу j2, Xj2,мкм | 20 | 
| 4. | Довідниковий коефіцієнт К1 | 1,2 | 
| 5. | Довідниковий коефіцієнт К2 | 3 | 
Розрахунок питомого опору вихідного кремнію.
Розраховуємо напругу лавинного пробою p-n переходу UBR , В
UBR = UDRM /0,75,
UBR = 1500/0,75 = 2000
Питомий опір вихідного кремнію обчислюємо за наступною формулою, pn , Омсм
pn = 6*10-4* UBR*[ln(1,2* UBR)]2
pn = 6*10-4*2000*[ln(1,2*2000)]2 = 75
Для тиристора на імпульсну напругу, що повторюється 1500 В значення питомого опору вихідного кремнію дорівнює 75 Ом۰см.
Розрахунок параметрів p-n-p-n структури
Розрахунок параметрів p-n-p-n структури починається з розрахунку товщини шару об'ємного заряду колекторного переходу в n-базі, яка визначається за наступною формулою:
Won=0,52*√ρn* UBR
Won=0,52*√75*2000=201
Глибини залягання переходів j1 та j2 для тиристора Т 165 складають 76 мкм та 20 мкм відповідно. Ефективна товщина бази тиристора у відкритому стані при високих щільностях струму змінюється.
Розраховуємо зміну ефективної товщини бази ∆W, мкм:
∆W = Xj1+ Xj2 - 50
∆W = 76 + 20 – 50 = 46
Знаходимо товщину n-бази Wn,мкм:
Wn = (1,2*К2* Wоn+∆W*Arch K1) / (1,2*3 – Arch K1),
де Arch K1 = 0,6224
Wn = (1,2*3* 201+46*Arch 1,2) / (1,2*3 – Arch 1,2) = 249
Визначаємо час життя дірок τp , мкм:
τp = (Wn + ∆W/125)2
τp (249 + 46/125)2 = 62184,40
Розраховуємо загальну товщину кремнієвої структури WSi, мкм:
WSi = Wn + Xj1 + Xj2
WSi = 249 + 76 + 20 = 345
2. Організація та економіка підприємства
2.1 Трудомісткість та кількість робочих місць
Визначаємо програму запуску
виробів ( ),шт:
),шт:
 ;
 ;
де  -
річна програма випуску виробів, шт.
 -
річна програма випуску виробів, шт.
 -
коефіцієнт виходу придатних.
 -
коефіцієнт виходу придатних.
Nзап = 1500/0,83 = 1808
Визначаємо трудоємність річного обсягу виготовлення за операціями (Тзап):
Тзап = (tшт * Nзап ),
де tшт – норма часу на виготовлення 100 виробів, год.
Тзап1 = (0,011 * 1500) / 100 = 0,199
Аналогічно виконуємо розрахунки по інших операціях.
Обчислюємо загальну трудоємність річного обсягу виготовлення за операціями (Тзаг.):
Тзаг. = Тдов. + Тзап ,
де Т дов. – трудоємність довантаження операції до нормативного коефіцієнту, яка визначається за формулою:
Т дов = (Fеф – Тзап) * К,
де К – коефіцієнт довантаження (0,8 – 0,95);
Fеф – ефективний фонд часу роботи обладнання, який визначається за формулою:
Fеф = [(Дк-Дв-Дсв) * tзм-tп.св] * Крем * h,
де Дк-Дв-Дсв – дні календарні, вихідні, святкові;
tзм – тривалість зміни, 8 годин;
tп.св – кількість годин перед святкових скорочень робочого дня, год;
Крем – коефіцієнт ремонту обладнання (0,88 – 0,96);
h – кількість змін на добу.
Fеф = [(365 – 105 – 9) * 8 – 4] * 0,92 * 1 = 1843,68
Тдов1 = (1843,68– 0,199) * 0,9 = 1659,13
Тзаг1 = 1659,13 + 0,199 = 1659,33
Визначаємо розрахункову кількість робочих місць (Вроз), шт
Вроз =Тзаг / (Fеф * КВН) ,
Вроз1 = 1659,33 / (1843,68 * 1) = 0,9
Обчислюємо коефіцієнт завантаження обладнання
Кз =Вроз /Вприйн ,
де Вприйн – прийнята кількість робочих місць за операцією, шт.
Кз = 0,9/1 = 0,9
2.3 Чисельність працівників дільниці
Потреба в кадрах планується з програми випуску на даному підприємстві. Розрахунки проводяться за категоріями працюючих (робітники, керівники, спеціалісти службовці), а по кожній з них – за професіями, спеціальностями, розрядами.
Чисельність основних робітників визначають за формулою
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.